压阻式金刚石微压力传感器  

Piezo?resistance Diamond Pressure Microsensor

作　　者：莘海维[1] 张志明[1] 沈荷生[1] 戴永兵[1] 万永中[1] 

机构地区：[1]上海交通大学微电子所,上海200030

出　　处：《微细加工技术》2001年第1期67-73,共7页Microfabrication Technology

基　　金：教育部薄膜与微细技术重点实验室资助

摘　　要：工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质 (如化学上的惰性、高的杨氏模量 )以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。对利用多晶金刚石薄膜制造的新型高温、高灵敏度压阻型金刚石微压力传感器的原理、结构及其制造技术作了详细介绍。这种传感器适用于勘探、航空航天以及汽车工业。此外 ,还阐述了金刚石微压力传感器的研究现状 ,并进一步指出目前存在的问题。Some industrial applications require the pressure sensors that are able to operate in high temperature,high radiation and harsh environments.Many properties of diamond (e.g.its chemical inertness and high Young's modulus)and high piezoresistance make it an excellent material for piezoresistive pressure sensors.A new kind of high?temperature,high sensitivity piezo?resistance diamond pressure microsensor (including its principle,configuration and fabrication technology)was discussed.Thesensors are suitable for exploration aerospace and automotive applications.The current research status and the related problems were introduced too.

关 键 词：压阻效应 金刚石膜薄 灵敏度因子 压力传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]