CIF数据格式转换成PG3600数据格式的新切割算法  

New Algorithm of Division for Pattern Format Conversion from CIF to PG3600

作　　者：李金儒[1] 汤跃科[1] 陈宝钦[1] 

机构地区：[1]中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室,北京100029

出　　处：《微细加工技术》2006年第1期7-12,共6页Microfabrication Technology

基　　金：国家重点基础研究资助项目(G20000365042002CB3119072002AA325040);国家自然科学基金资助项目(6029008160276019902070046037602060236010)

摘　　要：为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式上的转换软件,提出了一种新的将微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的图形切割算法———沿边切割法,重点讨论了圆形和多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行了比较,表明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性。In order to develop the format conversion software that can operate in the Windows system and also can in the L-EDIT, the new algorithm of graphics along border division is introduced which used for the pattern format conversion from CIF format to PG3600 format. The algorithm application on the division from circles or polygons into rectangles is discussed. It has obvious advantages for the division of irregular graphics in comparison with some other common algorithms.

关 键 词：微光刻技术 数据格式转换 图形切割 沿边切割算法 

分 类 号：TN305.6[电子电信—物理电子学]