丝网印刷聚酰亚胺晶圆保护  

作　　者：Frank W.Kulesza Richard H.Estes 项前 黄明明 

机构地区：[1]Epoxy Technology INC.

出　　处：《中国集成电路》2004年第10期62-66,共5页China lntegrated Circuit

关 键 词：晶圆 涂装 涂层 聚酰亚胺 杂环高聚物 丝网印刷 孔版印刷 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]