基于纳米/微米VO2红外探测器光电响应对比研究  

Comparative study of the infrared responsivity of detector based on nanostructure VO2 and microstructure VO2

作　　者：何少伟[1,2] 黄鹰[1,2] 戴君[1,2] 赖建军[1,2] 王兴治[1] 易新建[1,3] 

机构地区：[1]华中科技大学光电子科学与技术学院,湖北武汉430074 [2]国家光电实验室,湖北武汉430074 [3]华中科技大学图像处理和智能控制教育部重点实验室,湖北武汉430074

出　　处：《红外与激光工程》2007年第z1期186-188,共3页Infrared and Laser Engineering

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60677025)

摘　　要：新型纳米结构的二氧化钒(VO2)热敏薄膜具有平均粒度为8 nm和在半导体相区电阻温度系数(TCR)为-6%～7%/K.而通常用于非致冷红外探测器的VO2具有微米结构,粒度为1～2μm、TCR约为-2%/K.采用同样的器件设计,制备了基于纳米结构和微米结构的VO2薄膜128元线列器件,并对两种器件的光电性能进行了对比研究.测试结果表明:基于纳米结构VO2的器件响应率较基于微米结构的VO2器件高近3倍,前者器件的探测性能较后者得到了明显的改善.

关 键 词：纳米材料 红外探测 二氧化钒 薄膜 微测辐射热计 

分 类 号：TN247[电子电信—物理电子学]