溶胶凝胶法制备〈100〉择优取向钛酸锶钡薄膜  

Preparation of〈100〉-Oriented Ba1-xSrxTiO3 Films on Ni Substrates by Sol-Gel Method

作　　者：赵建玲[1] 王晓慧[1] 李龙土[1] 

机构地区：[1]清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084 清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084 清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084

出　　处：《稀有金属材料与工程》2005年第z2期748-750,共3页Rare Metal Materials and Engineering

基　　金：国家"863"高技术计划项目(2001AA325010)及国家重点基础研究发展计划"973"计划项目(2002CB613301)

摘　　要：采用适当热处理工艺得到择优取向Ni片,通过溶胶凝胶方法制备〈100〉择优取向BST薄膜,并对薄膜的铁电性及漏电流特性进行了初步研究.结果表明:以三氟乙酸代替冰醋酸、以异丙醇钛代替钛酸四丁酯更易得到〈100〉取向BST薄膜,该薄膜在还原气氛中(H2/N2=3/97)热处理后得到〈100〉择优取向BST薄膜.该技术在集成电容、介电可调器件、超导材料缓冲层方面有潜在的应用.

关 键 词：钛酸锶钡薄膜 溶胶凝胶 镍 

分 类 号：TQ174.6[化学工程—陶瓷工业]