多晶硅薄膜太阳能电池硅基复合陶瓷衬底的设计与制备  

The Design and Preparation of Ceramic Complex Substrate for Polycrystalline Silicon Thin-Film Solar Cell

作　　者：李海峰[1,2] 黄勇[1,2] 万之坚[2] 张厚兴[1] 张立明[2] 许颖[3] 王文静[3] 

机构地区：[1]清华大学深圳研究生院,深圳510855 [2]清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京100084 [3]北京市太阳能研究所,北京100083

出　　处：《稀有金属材料与工程》2005年第z2期865-867,共3页Rare Metal Materials and Engineering

基　　金：北京市自然科学基金重点项目(2021001)

摘　　要：采用复合陶瓷设计的概念,设计多晶硅薄膜太阳能电池用Si,SiC,C的复合陶瓷衬底.在气氛保护烧结炉中烧成,得到的复合陶瓷衬底和Si具有较好的热力学和晶体学匹配性,可以有效的避免在RTCVD工艺下高温沉积和冷却过程中出现的开裂现象,并能得到质量较好的多晶硅薄膜.同时,通过恰当设计Si,SiC和C各组分间的比例,还可以制备具有良好导电性能的陶瓷衬底,这对陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池的制备也有重要的意义.

关 键 词：陶瓷衬底 复合陶瓷设计 薄膜电池 

分 类 号：TG174.1[金属学及工艺—金属表面处理]