万之坚

作品数：12被引量：13H指数：2
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发文领域：金属学及工艺电气工程化学工程动力工程及工程热物理更多>>
发文期刊：《陶瓷学报》《太阳能学报》《稀有金属材料与工程》更多>>
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陶瓷衬底上薄膜电池的初步探索被引量：1
《太阳能学报》2006年第9期910-914,共5页张宇翔 许颖 李海峰 万之坚 王文静 
国家自然科学基金(60276032)
采用快速热化学气相沉积方法在氧化铝和氮化铝陶瓷衬底上制备多晶硅薄膜及太阳电池。多晶硅薄膜的晶粒尺寸在经过区再结晶后增大且霍尔迁移率提高,但随后的薄膜生长发现薄膜出现裂纹,影响了电池的效率,在Al_2O_3衬底上得到196mV开路电...
关键词：陶瓷 多晶硅薄膜 太阳电池 
SiSiC陶瓷衬底上多晶硅薄膜的结构
《太阳能学报》2006年第9期915-918,共4页马丽芬 许颖 任丙彦 勾宪芳 王文静 万之坚 李海峰 
国家重点基础研究发展规划(G2000028208);国家自然科学基金(60276032);北京市自然科学基金重点项目(2021010)
采用快速热化学气相沉积(RTCVD)法在Si-SiC陶瓷衬底上直接沉积多晶硅薄膜的研究,属国内首次。采用SEM和XRD两种测试方法分析了沉积外延的表面形貌和薄膜晶向,实验发现在RTCVD工艺中生长的多晶硅薄膜结构致密、晶粒较大,为制备低成本的...
关键词：RTCVD SiSiC 多晶硅 薄膜 
氧化铝陶瓷衬底多晶硅薄膜区熔再结晶的研究
《太阳能学报》2005年第5期617-620,共4页顾亚华 许颖 叶小琴 李海峰 万之坚 周宏余 
国家自然科学基金项目(60276032)北京市自然科学基金重点项目(2021010)
采用简化的区熔再结晶工艺,即区熔过程中不采用隔离层和盖帽层结构,直接在陶瓷衬底上制备出高 质量的多晶硅薄膜。实验中给出了用X射线衍射方法得到的晶向图谱和光学显微镜、扫描电子显微镜方法得到 的表面形貌,并采用扩散法和正面引电...
关键词：陶瓷 薄膜 RTCVD 区熔再结晶 晶向 
快速热化学沉积工艺条件对制备多晶硅薄膜的影响
《稀有金属材料与工程》2005年第z2期1149-1151,共3页万之坚 李海峰 黄勇 张厚兴 张立明 许颖 王文静 
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
选用Al2O3陶瓷作为衬底,采用快速热化学法沉积多晶硅薄膜.实验研究了温度对薄膜生长的影响,结果表明,硅层的沉积速率随着温度升高而加快,并逐渐趋向1个稳定值.晶粒尺寸也随着温度升高而增大,在温度达到1000℃后保持不变.在此硅薄膜上,...
关键词：太阳电池 多晶硅薄膜 快速热化学气相沉积 
陶瓷衬底材料对多晶硅薄膜沉积质量的影响
《稀有金属材料与工程》2005年第z2期1152-1154,共3页李海峰 黄勇 万之坚 张厚兴 张立明 许颖 王文静 
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
通过对不同陶瓷衬底材料上沉积多晶硅薄膜性能的研究,分析了陶瓷材料本身的性质和热力学参数、晶体学参数等性能对多晶硅薄膜沉积质量的影响,在SiC衬底上制备了择优定向生长晶粒直径达190μm的多晶硅薄膜.
关键词：陶瓷衬底 多晶硅薄膜 太阳能电池 
陶瓷衬底薄膜太阳能电池的制备
《稀有金属材料与工程》2005年第z2期1155-1157,共3页张立明 李海峰 黄勇 张厚兴 万之坚 许颖 王文静 
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
详细分析了陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池在制备过程中由于衬底的引入而导致一系列问题,比如衬底杂质含量过高、热膨胀系数等热力学参数和硅不匹配、沉积过程中杂质扩散以及晶体学参数不匹配导致沉积的硅薄膜晶粒不能长大等.针对衬底可...
关键词：陶瓷衬底 制备技术 太阳能电池 
薄膜太阳能电池的研究进展被引量：1
《稀有金属材料与工程》2005年第z2期1158-1160,共3页张厚兴 黄勇 李海峰 万之坚 张立明 
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
第二代薄膜电池有希望能大幅度降低电池的成本,真正实现太阳能电池的大规模应用.本文详细介绍了第二代薄膜电池的分类、制备工艺以及研究现状等.
关键词：染料敏化 多晶硅薄膜 薄膜电池 
多晶硅薄膜太阳能电池硅基复合陶瓷衬底的设计与制备
《稀有金属材料与工程》2005年第z2期865-867,共3页李海峰 黄勇 万之坚 张厚兴 张立明 许颖 王文静 
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
采用复合陶瓷设计的概念,设计多晶硅薄膜太阳能电池用Si,SiC,C的复合陶瓷衬底.在气氛保护烧结炉中烧成,得到的复合陶瓷衬底和Si具有较好的热力学和晶体学匹配性,可以有效的避免在RTCVD工艺下高温沉积和冷却过程中出现的开裂现象,并能得...
关键词：陶瓷衬底 复合陶瓷设计 薄膜电池 
陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池工艺
《稀有金属材料与工程》2005年第z2期931-933,共3页万之坚 李海峰 黄勇 张厚兴 张立明 许颖 王文静 
北京市自然科学基金重点项目(2021001)
为了大幅度降低成本,真正实现太阳能电池的大规模应用,设计出一种新颖的薄膜电池,即在廉价的陶瓷衬底上沉积多晶硅薄膜制作的太阳电池.介绍了制作这一电池的完整工艺流程,摸索出合适的工艺参数,解决了在异质衬底上生长大晶粒多晶硅薄膜...
关键词：陶瓷衬底 多晶硅 薄膜电池 
放电等离子烧结超快速合成MgAlON尖晶石的研究被引量：7
《陶瓷学报》2005年第1期13-16,共4页张厚兴 黄勇 李海峰 万之坚 
本文以MgO、AlN及Al2O3为原料,研究了采用放电等离子烧结技术合成MgAlON尖晶石的机理。并成功地实现了MgAlON陶瓷的超快速制备。研究结果表明,MgAlON的合成机理为:在1200℃以前,MgO和Al2O3首先反应形成尖晶石,该尖晶石是一中间体。随着...
关键词：MGALON 尖晶石 快速合成 放电等离子烧结技术 ALON陶瓷 Al2O3 技术合成 快速制备 研究结果 合成机理 烧结温度 MgO AlN 中间体 保温 反应 致密 
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