陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池工艺  

The Process of Polycrystalline Silicon Thin-Film Solar Cell with Ceramic Substrates

作　　者：万之坚[1] 李海峰[2] 黄勇[1,2] 张厚兴[1,2] 张立明[1] 许颖[3] 王文静[3] 

机构地区：[1]清华大学,北京100084 [2]清华大学深圳研究生院,深圳518057 [3]北京市太阳能研究所,北京100083

出　　处：《稀有金属材料与工程》2005年第z2期931-933,共3页Rare Metal Materials and Engineering

基　　金：北京市自然科学基金重点项目(2021001)

摘　　要：为了大幅度降低成本,真正实现太阳能电池的大规模应用,设计出一种新颖的薄膜电池,即在廉价的陶瓷衬底上沉积多晶硅薄膜制作的太阳电池.介绍了制作这一电池的完整工艺流程,摸索出合适的工艺参数,解决了在异质衬底上生长大晶粒多晶硅薄膜和表面电极引出的问题,实验取得了令人满意的结果.

关 键 词：陶瓷衬底 多晶硅 薄膜电池 

分 类 号：TG174.1[金属学及工艺—金属表面处理]