马丽芬

作品数：4被引量：10H指数：2
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供职机构：河北工业大学更多>>
发文主题：氮化硅薄膜等离子体化学气相沉积太阳电池少子寿命氮化硅更多>>
发文领域：电子电信电气工程动力工程及工程热物理更多>>
发文期刊：《河北工业大学学报》《Journal of Semiconductors》《太阳能学报》更多>>
所获基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划北京市科技新星计划更多>>
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热退火对太阳电池用多晶硅特性的影响被引量：4
《太阳能学报》2007年第4期351-354,共4页任丙彦 勾宪芳 马丽芬 励旭东 许颖 王文静 
对多晶硅片进行三步退火处理,用傅里叶红外光谱仪(FTIR)和准稳态光电导衰减法(QSSPCD)测硅片退火前后氧碳含量及少子寿命,并对单晶硅片做同样处理进行比较。实验发现:经三步退火后,多晶硅比单晶硅氧碳含量下降的幅度大,这表明多晶硅内...
关键词：太阳电池 多晶硅 氧沉淀 少子寿命 热退火 
SiSiC陶瓷衬底上多晶硅薄膜的结构
《太阳能学报》2006年第9期915-918,共4页马丽芬 许颖 任丙彦 勾宪芳 王文静 万之坚 李海峰 
国家重点基础研究发展规划(G2000028208);国家自然科学基金(60276032);北京市自然科学基金重点项目(2021010)
采用快速热化学气相沉积(RTCVD)法在Si-SiC陶瓷衬底上直接沉积多晶硅薄膜的研究,属国内首次。采用SEM和XRD两种测试方法分析了沉积外延的表面形貌和薄膜晶向,实验发现在RTCVD工艺中生长的多晶硅薄膜结构致密、晶粒较大,为制备低成本的...
关键词：RTCVD SiSiC 多晶硅 薄膜 
Effect of Thermal Annealing on Characteristics of Polycrystalline Silicon被引量：1
《Journal of Semiconductors》2005年第12期2294-2297,共4页任丙彦 勾宪芳 马丽芬 励旭东 许颖 王文静 
Oxygen and carbon behaviors and minority-carrier lifetimes in multi-crystalline silicon （mc-Si） used for solar cells are investigated by FTIR and QSSPCD before and after annealing at 750～ 1150℃ in N2 and O2 ambien...
关键词：polycrystalline silicon OXYGEN LIFETIME 
多晶硅太阳电池的氮化硅薄膜性能研究被引量：5
《河北工业大学学报》2005年第5期27-30,共4页勾宪芳 许颖 任丙彦 马丽芬 
北京市科技新星计划(H020821480130)
用等离子体化学气相沉积(PECVD)法,通过改变[SiH4∶N2]/[NH3]的流量比沉积SiN薄膜.用椭圆偏振仪、准稳态光电导衰减法(QSSPCD)、X射线光电子能谱(XPS)、红外吸收光谱(IR)、反射谱,测试氮化硅薄膜的厚度、折射率、少子寿命、Si/N、氢含...
关键词：多晶硅 太阳电池 等离子体化学气相沉积 氮化硅 少子寿命 
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