等离子体化学气相沉积

作品数：260被引量：562H指数：9
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MPCVD柱形腔中电子密度分布特性数值模拟分析
《真空科学与技术学报》2025年第3期248-256,共9页祝铭辉 陈玉 徐曼曼 沈洁 李翔 周燕 
使用微波等离子体法沉积多晶金刚石薄膜过程中,工艺参数调整往往对等离子体球大小及均匀性影响较大。文章基于实验室自制的5 kW MPCVD柱形腔,通过耦合多物理场,在氢气放电环境下对不同工艺参数条件下钼板表面轴向及径向电子密度分布进...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 氢等离子体 数值模拟 均匀性 
调节生长环境 单晶金刚石可转变成超导态
《超硬材料工程》2024年第6期50-50,共1页无 
9月16日,记者从浙江大学获悉,该校信息与电子工程学院林时胜教授团队,利用自制的微波等离子体化学气相沉积系统,成功制备出硼氮共掺杂的块体单晶金刚石半导体,并成功通过迁移率调控,实现了金刚石的超导态和金属态,部分证实了激子超导机...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 单晶金刚石 国际学术期刊 超导态 电子工程学院 金属态 高温超导 硼氮共掺杂 
多晶金刚石散热片制备工艺研究
《固体电子学研究与进展》2024年第6期556-560,共5页郝晓斌 李一村 孔霞 吕继磊 成楚飞 代兵 郭怀新 朱嘉琦 
中央高校基本科研业务费专项资金资助(HIT.OCEF.2022048);国家自然科学基金国际(地区)合作与交流项目(52261135545);国家重点研发计划变革性技术项目(2020YFA0709700)。
通过微波等离子体化学气相沉积(Microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)方法制备了不同工艺条件下的多晶金刚石散热片,并对其热导率、翘曲、表面形貌、晶体取向和拉曼光谱进行测试和分析。结果表明,甲烷浓度和生长温度对金...
关键词：金刚石 微波等离子体化学气相沉积 散热 
等离子体化学气相沉积技术提高PET包装薄膜阻隔性能研究
《中国包装》2024年第12期16-20,共5页印莲华 
上海市教育发展基金会和上海市教育委员会“晨光计划”项目资助(19CGB11)。
本文基于等离子体化学气相沉积技术(PECVD),在PET薄膜表面沉积一层SiO_(x)薄膜,以改善PET包装材料的阻隔性能。SiO_(x)阻隔薄膜的组成成分和微观形态分别通过傅里叶红外光谱(FTIR)和原子力显微镜(AFM)表征,SiO_(x)/PET复合包装薄膜的阻...
关键词：等离子体化学气相沉积 阻隔性能 SiO_(x)薄膜 PET包装材料 
石英玻璃材料制备用等离子炬研究进展
《中国建材科技》2024年第6期58-64,共7页刘佳铭 刘波 马相国 王蕾 宋学富 孙元成 
高频等离子体化学气相沉积制备石英玻璃的过程中,电感耦合等离子炬的结构设计会影响等离子体火焰的气流场和温度场分布,从而影响高纯石英玻璃的物理性能和折射率均匀性等特性,因此等离子炬的合理设计及稳定性对于提高石英玻璃的产品质...
关键词：石英玻璃 等离子体化学气相沉积 电感耦合 等离子炬 
PECVD法制备新型Cu-Gr复合材料用于未来互连
《科学通报》2024年第35期5183-5194,共12页王璐伟 王伟 梁旭婷 马勤政 
河北省自然科学基金(F2019202377)资助。
随着后端互连间距和横截面积的持续减小,Cu面临着电阻率、电迁移和RC延迟等挑战.石墨烯覆盖Cu后形成的复合材料(Cu-Gr),可以显著降低Cu线电阻率,提高其电流密度与抗电迁移性能,能有效应对当前纯Cu互连所面临的挑战.本文首先采用物理气...
关键词：新型互连材料 石墨烯 等离子体化学气相沉积 衬底偏压 电导率 热应力 
硅氧共掺DLC薄膜的制备及阻隔性能研究
《包装工程》2024年第19期171-178,共8页印莲华 刘忠伟 
上海市教育发展基金会和上海市教育委员会“晨光计划”项目(19CGB11)。
目的研究硅(Si)、氧(O)元素掺杂对类金刚石(Diamond like Carbon,DLC)薄膜沉积、结构、表面形貌以及阻隔性能的影响,为高效制备高阻隔硅氧共掺类金刚石(Si and O Incorporated DLC,Si/O-DLC)薄膜提供新的思路参考。方法利用微波等离子...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 类金刚石 聚对苯二甲酸乙二醇酯 阻隔性能 元素掺杂 
纳米金刚石膜/{100}晶面多晶金刚石膜台阶法快速生长研究
《应用技术学报》2024年第2期133-139,共7页唐春玖 侯海虹 陈维霞 江学范 
国家自然科学基金项目(51972035)资助。
通过高功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)以及台阶式基底排列方法,可以在一次沉积过程中同时沉积纳米晶粒及<100>取向的{100}面多晶金刚石薄膜。详细比较在同一次沉积中同时制备的多种不同类别的金刚石产物的生长速率。采用台阶法并...
关键词：纳米金刚石膜 {100}晶面 台阶法 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD) 
SiC基GaN上多晶金刚石散热膜生长及其影响
《半导体技术》2024年第5期455-460,共6页盛百城 刘庆彬 何泽召 李鹏雨 蔚翠 冯志红 
国家重点研发计划(2022YFB3404304,2022YFB3608603)。
通过微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法,在SiC基GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)异质结构材料上生长多晶金刚石散热膜,采用光学显微镜(OM)、拉曼光谱、非接触霍尔测试系统、X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对生长样品进行表征,研究...
关键词：多晶金刚石 散热膜 氮化镓 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法 电性能 应力 孔洞缺陷 
MPCVD法生长曲面多晶金刚石薄膜研究被引量：1
《冶金与材料》2024年第3期1-3,共3页许坤 吕思远 
河南省高等学校重点科研项目基础专项项目(项目编号:22ZX012);河南省重点研发与推广专项(科技攻关)项目(项目编号:212102210271);河南省高等学校重点科研项目(项目编号:21B140010);河南省高校科技创新团队项目(项目编号:22IRTSTHN004);航空科学基金项目(项目编号:ASFC-2019ZF055002)。
金刚石振膜具有高保真、声传播速率快、弹性模量高、声阻尼特性好、优异的高频响应特性,是高保真扬声器高音单元喇叭膜的理想材料。目前微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法生长单晶金刚石以及平面多晶金刚石薄膜技术都较为成熟,实现了...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 谐振腔 有限元分析 曲面多晶金刚石薄膜 
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