CdZnTe晶体(111)面摇摆曲线不唯一现象研究  

Nounique Phenomenon of Rocking Curve on (111) Surfaces of CdZnTe Wafers

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作  者:曾冬梅[1] 王涛[1] 李强[1] 查钢强[1] 介万奇[1] 

机构地区:[1]西北工业大学材料学院,西安,710072 西北工业大学材料学院,西安,710072 西北工业大学材料学院,西安,710072 西北工业大学材料学院,西安,710072 西北工业大学材料学院,西安,710072

出  处:《Journal of Semiconductors》2007年第z1期80-83,共4页半导体学报(英文版)

基  金:国家自然科学基金资助项目(批准号:50336040)

摘  要:CdZnTe晶体通常利用其(333)晶面的X射线衍射摇摆曲线来检测(111)晶面的结晶质量.本文根据CdZnTe晶体(333)面摇摆曲线实验结果,首次提出了CdZnTe晶体摇摆曲线的不唯一现象.摇摆曲线的这种不唯一现象是样品绕(111)面法线方向旋转360.过程中,晶体的(333)面和(333)面在同一衍射几何中都发生了布拉格衍射,优化扫描后得出两个摇摆曲线.分析了CdZnTe晶体(333)面和(-333)面对X射线散射能力,得出CdZnTe晶体(333)面的衍射强度小于(-333)面的衍射强度,所以在同等实验条件下,对同一CdZnTe晶片(333)面的摇摆曲线的强度比(333)面摇摆曲线的强度低.

关 键 词:CDZNTE 不唯一现象 摇摆曲线 结构因子 

分 类 号:TN304.2+6[电子电信—物理电子学]

 

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