ZrC/ZrB2纳米多层膜的微观结构与机械性能的研究  

Study of Microstructures and Properties of Nanoscale ZrC/ZrB2 Multilayers

作　　者：杨瑾[1] 张学华[1] 曹猛[1] 乔林[1] 王明霞[1] 邓湘云[1] 李德军[1] 

机构地区：[1]天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300074 天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300074 天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300074 天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300074 天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300074 天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300074 天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300074

出　　处：《真空科学与技术学报》2007年第z1期27-30,共4页Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

基　　金：国家自然科学基金(50472026),天津市应用基础研究重点项目(043801011)

摘　　要：选择ZrC和ZrB2为个体层材料,利用射频磁控溅射系统在室温下制备具有纳米尺寸的ZrC/ZrB2多层膜.通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、俄歇电子能谱、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究了调制周期与ZrC,ZrB2单层厚度比例(tZrC:tZrB2)对多层膜生长结构和力学性能的影响.结果表明,多层膜的界面清晰,调制周期性好,大部分多层膜的纳米硬度和弹性模量值都高于两种个体材混合相的值,在调制比例tZrC:tZrB2=1:1.7、调制周期为32 nm时,薄膜显示出很强的ZrC(111)择优趋向和较弱的ZrB2(001)及ZrB2(002)结构,同时产生硬度异常升高的超硬效应,其硬度达到42 GPa.多层膜的机械性能改善明显与其调制结构和多晶结构有着直接的联系.

关 键 词：磁控溅射 ZrC/ZrB2纳米多层膜 调制周期 调制比例 超硬 

分 类 号：TG174.444[金属学及工艺—金属表面处理] TG174.4[金属学及工艺—金属学]