微机械三维加速度传感器结构及原理分析  

Structure and Princple Analysis of the Micromachined Triaxial Accelerometers

作　　者：余尚江[1] 李科杰[1] 

机构地区：[1]北京理工大学机电工程学院,北京,100081 北京理工大学机电工程学院,北京,100081

出　　处：《测试技术学报》2004年第z3期5-11,共7页Journal of Test and Measurement Technology

摘　　要：体积小、频响宽、造价低的微机械三维加速度传感器能够适应一些领域三维加速度测试的需要,并已开展了广泛的研究.本文综合国内外研究情况,介绍了几种微机械三维加速度传感器的结构,包括单质量块-弹性梁结构、双质量块六梁结构、四质量块结构、梳齿式结构,并对每种结构传感器的工作原理进行了分析.

关 键 词：三维加速度传感器 微机械系统 体加工 微结构 

分 类 号：TB9-55[一般工业技术—计量学]