MEMS电容传感器小电容的测量  

Capacitance Test of MEMS Capacitive Sensor

作　　者：莫邦燹[1] 倪学文[1] 项斌[1] 朱晖[1] 宁宝俊[1] 张广勤[1] 

机构地区：[1]北京大学微电子研究院,北京,100871 北京大学微电子研究院,北京,100871 北京大学微电子研究院,北京,100871 北京大学微电子研究院,北京,100871 北京大学微电子研究院,北京,100871 北京大学微电子研究院,北京,100871

出　　处：《测试技术学报》2004年第z3期12-14,共3页Journal of Test and Measurement Technology

摘　　要：本文首先介绍了一种MEMS电容式微硅加速度计的结构和等效电路,阐述了开关电容放大器的工作原理和输出电压与电容的关系,重点讨论了用开关电容技术测量微硅加速度计小电容的方法.

关 键 词：MEMS电容传感器 微硅加速度计 开关电容放大器 电容测量 

分 类 号：TB9-55[一般工业技术—计量学]