微硅加速度计

作品数：12被引量：27H指数：3
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微硅加速度计中静电键合封接技术的应用
《电子机械工程》2005年第3期40-41,共2页邓宏论 
在微硅加速度计的研制中,静电键合具有传统胶接技术所无法比拟的优点,是目前该加速度计研制中广泛应用的粘接技术。叙述了静电键合技术的机理和它在微硅加速度计装配中的具体工艺流程,指明了技术的关键之处,并分析了该技术的优缺点,提...
关键词：静电键合 化学键 微硅加速度计 
MEMS电容传感器小电容的测量
《测试技术学报》2004年第z3期12-14,共3页莫邦燹 倪学文 项斌 朱晖 宁宝俊 张广勤 
本文首先介绍了一种MEMS电容式微硅加速度计的结构和等效电路,阐述了开关电容放大器的工作原理和输出电压与电容的关系,重点讨论了用开关电容技术测量微硅加速度计小电容的方法.
关键词：MEMS电容传感器 微硅加速度计 开关电容放大器 电容测量 
微硅加速度计在定向钻进角度测量中的应用被引量：4
《国防科技大学学报》2004年第2期75-78,共4页徐涛 罗武胜 吕海宝 董文娟 
国家863基金资助项目(2003AA430120)
针对地下定向钻进角度测量的特殊要求,提出了用一个单轴和双轴微硅加速度计测量地下钻头倾角和面向角的方法,组建了角度测量系统,给出温度补偿措施及相应的实验结果。结果表明,系统不仅具有体积小、成本低等优点,而且系统精度优于1℃,...
关键词：加速度计 定向钻 倾角 面向角 温度补偿 
一种高精度微硅加速度计的模态分析与模拟验证被引量：2
《微电子学与计算机》2003年第4期70-72,共3页魏海龙 单光宝 刘建朝 
文章介绍了一种“轿式”结构高精度微硅加速度计的总体结构。从振动机理出发,重点分析该加速度计的振动模态与结构参数的关系,得出了两者之间的函数关系,利用Ansys结构分析软件对其进行了模拟验证。
关键词：高精度微硅加速度计 模态分析 模拟验证 有限元分析 工作原理 
微硅加速度计技术综述被引量：2
《飞航导弹》2002年第9期44-47,共4页顾英 赵连元 
综述了微硅加速度计的发展概况 ,叙述了力平衡式微硅加速度计的基本原理、国外一些厂家的研制情况和对战术级微型惯性测量装置的推动作用 。
关键词：微硅加速度计 惯性测量装置 工作原理 
一种叉齿式微硅加速度计的设计与分析被引量：7
《宇航学报》2002年第1期83-86,共4页秦君华 董景新 
国防科工委重点项目 (8.7.1.1)和 (6A5 .4.3 )
本文介绍了一种适合军民两用市场的、中低精度的叉齿式微硅加速度计的设计和仿真 ,其敏感轴平行于检测质量平面 ,微结构梁采用了折叠梁结构。对这种加速度计的结构参数进行了理论设计和优化选择 ,利用Ansys结构分析软件重点研究了折叠...
关键词：叉齿式微硅加速度计 折叠梁结构参数 有限元分析 分辨率 Ansys结构分析软件 
3140型压阻式微硅加速度计测试与分析被引量：1
《仪表技术与传感器》2000年第5期3-5,12,共4页毛刚 顾启泰 刘学斌 
微型加速度计作为一种新型惯性传感器 ,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势。 314 0型压阻式微硅加速度计是美国ICSensors公司的产品。文中介绍了它的结构设计和工作原理 ,并对其重要性能...
关键词：微硅加速度计 测试 分析 惯性传感器 
挠性摆式微硅加速度计的有限元分析被引量：4
《仪表技术与传感器》1999年第2期1-3,共3页董景新 赵长德 张自然 皮舜 吴晓春 袁光 
】微硅加速度计是近年来发展起来的新型器件，在结构设计阶段必须对其进行力学分析，以期对使用条件下的摆片位移、应力等作到心中有数。本文采用有限元分析方法对挠性摆式微硅加速度计进行有限元分析，其中包括对未封装及封装后实体单...
关键词：挠性摆式 加速度计 有限元 微硅加速度计 
挠性摆式微硅加速度计的模态分析被引量：2
《清华大学学报（自然科学版）》1998年第11期16-18,共3页董景新 张自然 袁光 皮舜 吴晓春 
国防科工委重点预研项目
近年来，在很多应用中，对加速度计动态性能提出较高的要求，故在结构设计阶段必须对其进行动态力学分析，以期使摆片模态满足使用要求。有限元分析是分析复杂结构的一种较新的高精度的分析工具。本文利用有限元分析方法对挠性摆式微硅...
关键词：模态分析 摆式 挠性 微硅加速度计 
微硅加速度传感器的动态特性补偿方法研究被引量：4
《宇航计测技术》1998年第2期49-54,共6页才海男 周兆英 李勇 张文栋 
提出了一种用以扩展加速度传感器使用频率范围的动态特性补偿方法，其基本原理是根据加速度传感器的输入输出传递函数，构造出一个基于硬件的补偿网络，这个补偿网络的传递函数的零极点分别与加速度传感器的传递函数的极零点相抵消，从...
关键词：微硅加速度计 动态特性 补偿 加速度计 传感器 
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