挠性摆式微硅加速度计的有限元分析  

The Finite Element Method on Micromechanical Flexure Pendulous Silicon Accelerometer

作　　者：董景新[1] 赵长德[1] 张自然[1] 皮舜 吴晓春[1] 袁光[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器系

出　　处：《仪表技术与传感器》1999年第2期1-3,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：】微硅加速度计是近年来发展起来的新型器件，在结构设计阶段必须对其进行力学分析，以期对使用条件下的摆片位移、应力等作到心中有数。本文采用有限元分析方法对挠性摆式微硅加速度计进行有限元分析，其中包括对未封装及封装后实体单元进行敏感轴位移、侧向位移、横向灵敏度、受力情况等分析。分析结果表明所设计的微硅加速度计符合仪表性能要求。Micromechanical silicon accelerometer is developed recently.We must study micro structure and mechanical characteristics of a micromechanical accelerometer in design stage.ln this paper,we analyzed the mechanical characteristics of a micromechanical flexure pendulous silicon accelerometer with the method of finite element analysis.It included the displacement along sensing axis,the displacement along cross axis,cross axis sensitivity,stress and strain,etc.The analyses result is satisfied.

关 键 词：挠性摆式 加速度计 有限元 微硅加速度计 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]