一种叉齿式微硅加速度计的设计与分析  

Design and analysis of a multi-finger micromechanical silicon accelerometer

作　　者：秦君华 董景新[1] 

机构地区：[1]清华大学精密仪器与机械学系,北京100084

出　　处：《宇航学报》2002年第1期83-86,共4页Journal of Astronautics

基　　金：国防科工委重点项目 (8.7.1.1)和 (6A5 .4.3 )

摘　　要：本文介绍了一种适合军民两用市场的、中低精度的叉齿式微硅加速度计的设计和仿真 ,其敏感轴平行于检测质量平面 ,微结构梁采用了折叠梁结构。对这种加速度计的结构参数进行了理论设计和优化选择 ,利用Ansys结构分析软件重点研究了折叠梁结构参数对加速度计固有谐振频率和力学特性的影响。最后给出了一个符合仪表性能要求的微加速度计 ,其中心摆片大小为 1.6 mm× 1.0 mm ,量程为 2 5 g,分辨率为 0 .5× 10 - 3g。A kind of multi finger micromechanical silicon accelerometer with medium&low performance designed for either commercial or military markets is designed and simulated.Its sensitive direction is parallel to the proof mass and its spring adopts the folded beam.Its structural parameters are designed and determined.This paper discusses emphatically the difference of the accelerometer's frequency and mechanical behavior,caused by the changes of the spring's parameters.In the end,a performance satisfied accelerometer is described.The size of its proof mass is 1 6 mm×1 0 mm,its full scale is 10g and its resolution is 0 5×10 -3 g.

关 键 词：叉齿式微硅加速度计 折叠梁结构参数 有限元分析 分辨率 Ansys结构分析软件 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]