第15届固态传感器、传动器与微系统国际会议(Ⅱ)  

15th intermational conference on solid state sensors,actualors and microsystems(Ⅱ)——a spsecial review

作　　者：周南 周亢 余人宜 辜士荣 

机构地区：[1]上海市大木桥路158-16-501,上海200032

出　　处：《分析试验室》2010年第11期123-124,共2页Chinese Journal of Analysis Laboratory

关 键 词：机械系统 微系统 互补型金属氧化物半导体 传动器 单壁碳纳米管 超声波距离传感器 国际会议 微型 电动机械 应用 

分 类 号：O65[理学—分析化学]