SnO_2半导体气敏器件环境可靠度评估  

作　　者：王天荣[1] 苏子美[1] 王伟[2] 周真[1] 

机构地区：[1]哈尔滨科学技术大学 [2]机电部第49所

出　　处：《传感器技术》1993年第3期49-53,共5页Journal of Transducer Technology

摘　　要：引言 目前,SnO_2半导体气敏器件(以下简称器件),由于成本低,灵敏度高,响应时间快等优点已商品化,大量投放市场,用于对易燃、易爆、有毒、有害气体的监测,预报和控制工程中,因而器件的可靠性水平高低直接关系到国家财产和人民生命的安全。当前,半导体气敏传感器普遍存在可靠性差的缺点,故提高可靠性水平是当务之急,也是出口创汇的基本条件。

关 键 词：半导体器件 气敏器件 可靠性 

分 类 号：TN379[电子电信—物理电子学]