基于垂直扫描白光干涉法的金刚石刀具表面粗糙度测量  

Surface roughness measurement of diamond tool by vertical scanning white-light interferometry

作　　者：岳晓斌[1,2] 刘波[2] 雷大江[2] 徐敏[1] 

机构地区：[1]复旦大学信息科学与工程学院光科学与工程系,上海200433 [2]中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621900

出　　处：《制造技术与机床》2014年第6期90-93,共4页Manufacturing Technology & Machine Tool

基　　金：国家“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项:强激光光学元件超精密制造关键装备研制(2013ZX04006011)

摘　　要：金刚石刀具切削加工光学表面时,工件表面粗糙度与刀具表面粗糙度密切相关。利用垂直扫描白光干涉法,获得了金刚石刀具前、后刀面粗糙度的测量图像并分析了测量结果,实现了金刚石刀具表面粗糙度亚纳米级精度的快速、高重复性测量。通过比较,光学轮廓仪与AFM对超光滑表面粗糙度测量的结果具有很好的相关性。The surface roughness of workpiece is directly related to the tool roughness in diamond cutting of optical glass. Diamond tool rake face and flank surface roughness are obtained by vertical scanning white- light interferometry,which can achieve high repeatability and high precision measurement quickly. The error of measuring image and the analysis is given. Through comparision,optical profiler and AFM for the super smooth surface roughness measurement results have a good correlation.

关 键 词：金刚石刀具 垂直扫描 白光干涉 表面粗糙度 

分 类 号：TH741[机械工程—光学工程] TG84[机械工程—仪器科学与技术]