MEMS压力传感器原理及其应用  

作　　者：曹乐[1,2] 樊尚春[1,2] 邢维巍[1,2] 

机构地区：[1]北京航空航天大学精密光机电一体化教育部重点实验室,北京100191 [2]北京航空航天大学惯性技术国防科技重点实验室,北京100191

出　　处：《计测技术》2012年第S1期108-110,共3页Metrology & Measurement Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60927005)

摘　　要：MEMS压力传感器是基于MEMS技术的小型化、低功耗、低成本、高准确度的压力测量器件,广泛应用于各行业领域。本文首先介绍了压阻式、电容式和谐振式压力传感器的工作原理,然后研究了三种压力传感器的关键技术,并针对应用做了简要分析,最后给出了MEMS压力传感器研究方面的几点建议。

关 键 词：MEMS 压力传感器 键技术 工作原理 应用研究 

分 类 号：TB9[一般工业技术—计量学]