柔性热敏薄膜传感器阵列工艺研究  

Fabrication of Flexible Thermal Thin-film Sensor Array

作　　者：傅博[1] 马炳和[1] 邓进军[1] 董拴成[1] 

机构地区：[1]西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室,西安710072

出　　处：《航空精密制造技术》2011年第4期1-3,14,共4页Aviation Precision Manufacturing Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.50775188)

摘　　要：分析了热敏薄膜传感器测量流场温度和壁面剪应力的原理,选择聚酰亚胺为衬底材料,金属镍为热敏材料,提出了一种电镀引线的柔性热敏薄膜传感器阵列结构及其制作工艺。经热敏性能测试,该柔性热敏薄膜传感器阵列结构简单,可贴附于高曲率复杂表面,实现非破坏动态流场参数测量。分析了热敏薄膜传感器测量流场温度和壁面剪应力的原理,选择聚酰亚胺为衬底材料,金属镍为热敏材料,提出了一种电镀引线的柔性热敏薄膜传感器阵列结构及其制作工艺。经热敏性能测试,该柔性热敏薄膜传感器阵列结构简单,可贴附于高曲率复杂表面,实现非破坏动态流场参数测量。

关 键 词：电镀 热敏薄膜传感器 柔性 壁面剪应力 

分 类 号：V26[航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]