董拴成

作品数：3被引量：9H指数：2
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供职机构：西北工业大学机电学院空天微纳系统教育部重点实验室更多>>
发文主题：电镀薄膜电阻聚对二甲苯敏感元件电阻阵列更多>>
发文领域：航空宇航科学技术自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《航空学报》《微纳电子技术》《航空精密制造技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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聚酰亚胺微刻蚀加工工艺研究被引量：3
《微纳电子技术》2012年第5期323-327,共5页董拴成 苑伟政 马炳和 邓进军 郝日鹏 
国家自然科学基金资助项目(51105317)
研究了RIE刻蚀聚酰亚胺的刻蚀速率、刻蚀表面粗糙度与不同加工工艺参数(包括射频功率、腔室压力、刻蚀气体成分等)之间的相互关系。刻蚀速率与射频功率、腔室压力都呈线性关系,与气体成分的关系是低SF6含量时呈线性,高SF6含量时出现饱...
关键词：酰亚胺 等离子体刻蚀 柔性微结构 聚酰亚胺膜固定 微腔成型 
溅射-电镀微成型制造柔性热膜传感器阵列被引量：4
《航空学报》2011年第11期2147-2152,共6页马炳和 傅博 李建强 邓进军 董拴成 
国家自然科学基金(50775188)~~
为了实现流场壁面剪应力等动态定点分布测量,提出了一种新的柔性热膜传感器阵列结构,并介绍了其制作工艺。旋涂并升温固化制备聚酰亚胺柔性薄膜衬底,在衬底上溅射沉积金属镍膜,并用剥离工艺成型热敏电阻元件阵列及其引线区底膜。然后在...
关键词：溅射 电镀 微成型 热膜传感器 柔性 剪应力 
柔性热敏薄膜传感器阵列工艺研究被引量：2
《航空精密制造技术》2011年第4期1-3,14,共4页傅博 马炳和 邓进军 董拴成 
国家自然科学基金资助项目(No.50775188)
分析了热敏薄膜传感器测量流场温度和壁面剪应力的原理,选择聚酰亚胺为衬底材料,金属镍为热敏材料,提出了一种电镀引线的柔性热敏薄膜传感器阵列结构及其制作工艺。经热敏性能测试,该柔性热敏薄膜传感器阵列结构简单,可贴附于高曲率复...
关键词：电镀 热敏薄膜传感器 柔性 壁面剪应力 
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