郝日鹏

作品数：2被引量：3H指数：1
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发文主题：微加工传热学测量方法薄膜热电偶高速飞行器更多>>
发文领域：电子电信航空宇航科学技术自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《航空工程进展》更多>>
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隔热背腔式柔性热膜探头的设计及其微加工
《航空工程进展》2013年第3期327-332,共6页马炳和 郝日鹏 邓进军 朱鹏飞 
国家自然科学基金(50775188)
为了进一步提高器件性能,设计一种新型隔热背腔式柔性热膜传感器探头结构。借助流体传热耦合仿真和动态响应分析等,确定背腔结构参数;研发针对隔热背腔式柔性热膜探头的双面图形化微加工工艺,获得新型传感器件。对静/动态特性进行对比测...
关键词：柔性热膜 隔热背腔 仿真 微加工 
聚酰亚胺微刻蚀加工工艺研究被引量：3
《微纳电子技术》2012年第5期323-327,共5页董拴成 苑伟政 马炳和 邓进军 郝日鹏 
国家自然科学基金资助项目(51105317)
研究了RIE刻蚀聚酰亚胺的刻蚀速率、刻蚀表面粗糙度与不同加工工艺参数(包括射频功率、腔室压力、刻蚀气体成分等)之间的相互关系。刻蚀速率与射频功率、腔室压力都呈线性关系,与气体成分的关系是低SF6含量时呈线性,高SF6含量时出现饱...
关键词：酰亚胺 等离子体刻蚀 柔性微结构 聚酰亚胺膜固定 微腔成型 
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