太阳电池生产线氮气使用量的计算  

The solar battery production line nitrogenconsumption of correct calculation

作　　者：王伟 刘婷 李锴 

机构地区：[1]西安黄河光伏科技股份有限公司

出　　处：《中国建设动态（阳光能源）》2010年第10期68-69,共2页

摘　　要：本文介绍在太阳电池生产线建设过程中,要以严谨的态度计算水、电、气等各种消耗量数据,结合作者实际经验并以N2为例,详细描述如何正确计算N2的平均消耗量。本文介绍在太阳电池生产线建设过程中,要以严谨的态度计算水、电、气等各种消耗量数据,结合作者实际经验并以N2为例,详细描述如何正确计算N2的平均消耗量。

关 键 词：N2 清洗制绒 去磷硅玻璃(PSG) 扩散 刻蚀 甩干 PECVD 

分 类 号：TK51[动力工程及工程热物理—热能工程]