XRD在薄膜结构分析中常见问题的研究  

作　　者：谢清连[1] 黄国华[1] 潘吟松[1] 黄自谦[1] 

机构地区：[1]广西师范学院物理与电子工程学院,广西南宁530001

出　　处：《广西物理》2010年第4期15-18,共4页Guangxi Physics

基　　金：国家自然科学基金项目(51062001);广西教育厅项目(200911MS148);广西高校优秀人才资助计划项目(RC2007024)

摘　　要：研究了X射线衍射(XRD)在薄膜结构分析中常见问题的解决方法,提出了取向生长薄膜的面内晶胞参数的测试及计算方法。实验表明,X射线束的扫描方向对反映的晶体结构信息产生影响。理论推导表明,在计算中选择合适强度和合适峰位的衍射峰,才能得到准确的晶胞参数。

关 键 词：XRD 薄膜 晶胞参数 

分 类 号：O4[理学—物理]