RF MEMS移相器馈电网络的研究  

The Study of Millimeter-wave MEMS Phase shifter feed network

作　　者：傅佳辉[1] 吴群[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学电子与信息技术学院,哈尔滨150001

出　　处：《电子测量与仪器学报》2009年第S1期327-331,共5页Journal of Electronic Measurement and Instrumentation

基　　金：航空科学基金(20080177010)资助;国家青年博士点基金(20070213058)资助项目

摘　　要：提出一种RF MEMS移相器馈电结构的设计,在MEMS开关中加入MAM电容。MEMS移相器金属桥开关的馈电可以通过MAM电容,空气桥和偏置线来实现的。通过这种方法,不但实现了数字式控制,而且引入相对稳定的电容值,改善了开态和关态的电容比,提高了MEMS移相器的性能。Feed network of RF MEMS phase shifter is presented in this work.The MAM capacity is plated in MEMS switch,The feed network is composed by MAM capacity,air bridge and bias lines.Using this method,digital control is realized and introduced more stable capacity value.It improves ratios of open and down capacities and performance ofRF MEMS phase shifter.

关 键 词：MEMS 移相器 馈电 MAM 

分 类 号：TN623[电子电信—电路与系统]