硅基液晶显示器中像素电极平整度研究  

作　　者：代永平[1] 王隆望[2] 

机构地区：[1]天津南开大学信息学院 [2]北京微电子技术研究所

出　　处：《中国集成电路》2002年第11期61-64,共4页China lntegrated Circuit

摘　　要：硅基液晶(LCoS)显示器是一类把LCD制作在单晶硅片上的新型的反射式平板显示器,硅片上集成了驱动电路和显示驱动矩阵,其中镜面反射电极的平整性决定了整个显示器的亮度和对比度等主要显示参数。本文详细探讨了运用常规VLSI技术实现LCoS像素电极的平坦化机理。

关 键 词：平坦化技术 平整度 驱动电路 化学机械抛光 硅基液晶显示器 像素 电极 反射率 对比度 反射式 

分 类 号：TN873[电子电信—信息与通信工程]