其他  

出　　处：《中国光学》2002年第3期84-84,共1页Chinese Optics

摘　　要：TN15 2002032210DNA检测用光电管的研制=Research and fabricationof phototransistors for DNA analysis[刊,中]/李和太,孟丽囡(沈阳工业大学信息科学与工程学院.辽宁,沈阳(110023)),李慧芳(东北制药总厂计算中心.辽宁,沈阳(110026))//仪表技术与传感器.-2001,(10).-31-32,35微电子技术已渗透到许多领域,集成纳米级DNA分析系统就是微电子技术与分析化学结合的产物。其中荧光检测器是由集成电路工艺制成的一列光电管组成。检测用荧光的波长为515nm,硅光电管对此波长的光响应比较小,为了提高光电管的响应灵敏度,用硼离子注入制成浅BC结。

关 键 词：硅光电管 微电子技术 等离子体刻蚀 集成电路工艺 荧光检测器 信息科学 转换屏 响应灵敏度 传感器 分析系统 

分 类 号：TN151[电子电信—物理电子学]