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出  处:《中国高校科技》1998年第8期16-19,共4页China University Science & Technology

摘  要:一种金刚石薄膜的制造方法,属非金属元素的制备领域。本方法是在基底上涂刷混合于苯、酚、醇等有机溶剂中的巴基管溶液,干燥后将基底放入真空室内,充入碳氢化合物气体(CH<sub>4</sub>或C<sub>2</sub>H<sub>2</sub>)与H<sub>2</sub>的混合气体,加热混合气体及基底,使碳沉积在基底上,合成金刚石薄膜。用本发明方法制造金刚石薄膜生长速度快质量高。

关 键 词:金刚石薄膜 开关磁阻电机 电子镇流器 水火加工 电沉积 水火弯板 技术转让 串联谐振 金刚石钻头 混合气体 

分 类 号:F426.4[经济管理—产业经济]

 

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