微型机电系统技术  

作　　者：李德孚 

出　　处：《现代军事》1996年第10期14-15,共2页Conmilit

摘　　要：80年代以来,人们在意识到利用半导体批量制造技术可以生产许多宏观机械系统微米尺度的样机后,就在小型机械制造领域展开一场革命,导致了微型机电系统(MEMS)的出现,如微米尺度的压力传感器、加速度计、化学传感器和各种阀门等装置或器件。MEMS是继大规模集成电路之后,微观尺度生产领域制造技术的又一次飞跃。目前,MEMS已从实验室的研究探索走向实际应用,并引起发达国家工业界和军方人士的广泛关注和兴趣,投入大量资金进行开发。 MEMS具有很高的军民两用度,既能引起生产领域发生根本变化,给国民经济发展带来巨大的利益,在军事方面的应用也有着深远的影响,可能改变未来战争的面貌。90年代以来,国际上已拉开了MEMS竞争的架势。

关 键 词：压力传感器 大规模集成电路 微型加速度计 制造技术 微米尺度 微型机电系统技术 化学传感器 小型机械 生产领域 机械系统 

分 类 号：TN42[电子电信—微电子学与固体电子学]