微型加速度计

作品数:10被引量:16H指数:2
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基于MEMS加速度的蓝牙手势小车设计被引量:1
《数字技术与应用》2016年第11期164-164,共1页干娜 王梦轩 余贵萍 
基于MEMS惯性器件微型加速度计,介绍一种由STC89C52处理加速度值,蓝牙传输控制指令的手势小车设计案。系统由发送部分和接收部分组成,发送部分将微型加速度计采集到的倾角经单片机处理转化为控制指令由蓝牙主机发送出去,蓝牙的主机模式...
关键词:微型加速度计 手势小车 AT指令 
湿度对微型加速度计粘连失效的影响被引量:5
《传感技术学报》2014年第3期316-319,共4页宋运康 赵坤帅 闫鑫 李川 
863预研课题项目(2011AA110102);国家国际科技合作项目专项项目(2011DFA72370)
粘连是微/纳器件的一种典型失效模式,由于湿度引起的粘连失效占很大比例。以MEMS摆式加速度计为模型,分析了湿度引起粘连失效的机理,主要是毛细黏性力的影响。为了研究材料性质和粗糙度对粘连的影响,对比钨(W)、铝铜(AlCu)和铝(Al)3种...
关键词:粘连 毛细黏性力 粗糙度 HMDS(六甲基二硅胺烷) 
高过载微型加速度计结构设计及数值模拟被引量:3
《南京理工大学学报》2010年第3期319-322,共4页邹华 
南京理工大学科研发展基金(XKF07046)
为检测高膛压火炮膛内弹丸运动加速度的时间变化规律,该文依据性能较优的电容式微型加速度计的测量原理,提出了一种高过载微型加速度计的结构设计方案,其弹性元件的动极板采用多根直梁支撑的形式,建立了该弹性元件的力学模型,并进行了...
关键词:高膛压火炮 弹丸 微型加速度计 有限元模拟 
高过载硅微加速度计的动态响应被引量:1
《弹道学报》2010年第1期100-102,106,共4页邹华 
南京理工大学科研发展基金项目
依据电容式微型加速度计的结构及工作原理,对高膛压火炮膛内弹载高过载硅微加速度计进行了动态响应研究,建立了加速度计弹性元件的力学模型及动态响应数学模型.通过计算给出了弹性元件在高过载条件下的固有频率及动态响应曲线.结果表明...
关键词:高过载 微型加速度计 频率 
CMOS MEMS微型加速度计
《科儀新知》方維倫(Wei-Leun Fang) 孫志銘(Chih-Ming Sun) 王傳蔚(Chuan-Wei Wang) 蔡明翰(Ming-Han Tsai) 
CMOS MEMS是目前相当受到瞩目的一项微机电技术,除了有许多已商品化的产品外,国内外也有许多学术机构投入相关的研究。本文希望以笔者在清华大学微机电实验室所开发之一系列微型加速度计为例,说明CMOS MEMS元件设计、制造与测试的完...
新型SAW谐振式微加速度计的设计被引量:4
《测控技术》2005年第1期8-10,共3页刘骏跃 陈明 
航空基金资助项目(01I53071)
提出了一种基于静电力负反馈、并可进行开/闭环切换的新型加速度计,它既能保护石英悬臂梁避免其疲劳或断裂,又能确保加速度计具有一定的测量范围和灵敏度。介绍了该新型加速度计的基本结构和工作原理。分析了电容器中静电力的非线性特...
关键词:微型加速度计 静电力 开/闭环切换 
确认姿态的双向微型加速度计
《中国测试技术》2003年第5期36-36,29,共2页侯美丽 杨建辉 第五兴乐 
本文介绍一种微型的确认姿态的双向加速度计,这种微型的确认姿态的双向加速度计是一种玻璃-硅-玻璃结构。实验证明了这种传感器的有效性和实用性。
关键词:微型加速度计 玻璃-硅-玻璃结构 微型加速度计 传感器 姿态 
一种抗大过载微型加速度计研究被引量:2
《微纳电子技术》2003年第7期281-283,288,共4页曾昭君 石进杰 
讨论了一种抗大过载 (15 0 0 0 0 g)的微型加速度计 ,主要内容包括 :阐述加速度计的工作原理 ;设计一种新型十字梁的器件结构 ,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验 ,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性 ;进而利用ANSYS对器件...
关键词:微型加速度计 MEMS 大过载 ANSYS 工作原理 
微型加速度计
《惯性世界》1997年第1期6-8,共3页杨庭楣 
微型加速度计是一种新型的加速度计,它采用固体集成电路的微加工技术,将加速度计的敏感元件及其电子线路集成在一块硅片上,或者分别集成,然后封装在一起。
关键词:微型 加速度计 原理 性能指标 
微型机电系统技术
《现代军事》1996年第10期14-15,共2页李德孚 
80年代以来,人们在意识到利用半导体批量制造技术可以生产许多宏观机械系统微米尺度的样机后,就在小型机械制造领域展开一场革命,导致了微型机电系统(MEMS)的出现,如微米尺度的压力传感器、加速度计、化学传感器和各种阀门等装置或器件...
关键词:压力传感器 大规模集成电路 微型加速度计 制造技术 微米尺度 微型机电系统技术 化学传感器 小型机械 生产领域 机械系统 
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