改善细线的均匀性(Ⅱ)  

作　　者：John Melonas Don Ball 赵德耀 

出　　处：《印制电路信息》1995年第8期20-22,共3页Printed Circuit Information

摘　　要：这篇论文是分作两部分的系列文章的第二部分,它探讨了在克服与薄材料传送通过蚀刻系统时有关的问题,并同时保持蚀刻均匀度的新方法。 在匀速的传送通过蚀刻箱以后。

关 键 词：蚀刻速率 板片 滚筒 均匀性 薄材 蚀刻剂 氯化铜 侧蚀 喷嘴压力 测试运行 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]