硅片传输中的预对准方法  

作　　者：杨建忠[1] 

机构地区：[1]电子工业部第四十五研究所

出　　处：《电子工业专用设备》1993年第4期32-37,47,共7页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：本文叙述了硅片自动传输中片子位置精度的预对准方法。并汇集了常见的具有代表性的十几种典型的预对准结构,介绍了其实现的途径和特点。

关 键 词：硅片预对准 预对准定位方法 预对准结构 

分 类 号：TN05[电子电信—物理电子学]