杨建忠

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硅片传输中的预对准方法
《电子工业专用设备》1993年第4期32-37,47,共7页杨建忠 
本文叙述了硅片自动传输中片子位置精度的预对准方法。并汇集了常见的具有代表性的十几种典型的预对准结构,介绍了其实现的途径和特点。
关键词：硅片预对准 预对准定位方法 预对准结构 
硅片端磨切割技术
《电子工业专用设备》1993年第3期24-27,共4页杨建忠 
本文介绍了内圆切割方法的最新进展,一种可用于高精度硅片加工的新方法——端磨切割加工技术。并就其技术特点、实用性、实现的途径及存在的问题等做了较详细的介绍。
关键词：硅片内圆切割机 端磨切割 
Surfscan系列片子表面质量检查仪器
《电子工业专用设备》1989年第4期38-42,50,共6页杨建忠 
本文概述了美国TENCOR仪器公司近年来推出的Surfscan系列片子表面质量检查仪器,及其适用范围和主要技术特点。
关键词：检查仪 表面质量 片子 
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