Surfscan系列片子表面质量检查仪器  

作　　者：杨建忠[1] 

机构地区：[1]机械电子工业部第四十五研究所

出　　处：《电子工业专用设备》1989年第4期38-42,50,共6页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：本文概述了美国TENCOR仪器公司近年来推出的Surfscan系列片子表面质量检查仪器,及其适用范围和主要技术特点。

关 键 词：检查仪 表面质量 片子 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学]