温度补偿模式下具有高灵敏度和高分辨率的声波传感器  

Temperature compensated acoustic sensor with a high sensitivity and a high resolution

作　　者：蒋国珠 张辉[1] 刘朝群 张淑仪[1] 范理[1] 

机构地区：[1]南京大学声学研究所,南京210093

出　　处：《声学技术》2013年第S1期277-278,共2页Technical Acoustics

摘　　要：0引言近年来,基于薄膜体声波传感器(FBAR)的器件备受关注,并开始广泛应用于无线通讯领域和生物组织探测领域[1]。与已经投入广泛应用的石英晶体传感器(QCM)不同的是,现代的工艺能让FBAR设计得很薄(【1μm),更薄的FBAR能得到更高的共振频率(】1 GHz)从而得到更高的传感灵敏度[2-3]。相关研究表明。

关 键 词：温度补偿 石英晶体传感器 压电薄膜 通讯领域 高分辨率 探测领域 传感器件 膜体 氮化铝 补偿层 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]