硅纳米线的制作方法  

作　　者：王跃林[1] 李欣昕[1] 刘文平[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海微系统与信息技术研究所200050

出　　处：《科技开发动态》2004年第5期39-40,共2页R&D Information

关 键 词：硅纳米线 制作 掺杂 厚度 

分 类 号：TN04[电子电信—物理电子学] TB383[一般工业技术—材料科学与工程]