刘文平

作品数：9被引量：10H指数：2
导出分析报告
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：硅纳米线传感器件干法刻蚀技术电阻温度系数退火更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术电气工程理学更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》《Journal of Semiconductors》《中国机械工程》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划上海-AM基金中国科学院知识创新工程重要方向项目国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-9
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
非晶硅薄膜的红外热敏特性
《Journal of Semiconductors》2008年第11期2265-2269,共5页马铁英 李铁 刘文平 王跃林 
国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB300406);上海AM基金(批准号:0402)资助项目~~
用PECVD技术制备了不同掺磷比的非晶硅薄膜,然后退火改性.红外透射光谱揭示了薄膜内部的键合模式随生长工艺条件变化的规律;测量和分析了非晶硅红外热吸收及电阻温度系数与薄膜结构之间的关系.综合考虑非晶硅电阻率和电阻温度系数两个因...
关键词：非晶硅 退火 红外透射 电阻温度系数 
热敏材料掺磷非晶硅的退火行为
《功能材料与器件学报》2007年第6期588-592,共5页马铁英 李铁 周萍 刘文平 王跃林 
国家973项目"基于碳纳米管敏感结构与传感器"(No.2006CB300406);上海AM基金"基于闪耀光栅MEMS红外光谱仪技术研究"(No.0402)
本文对PECVD制备的红外热敏材料掺磷非晶硅薄膜的两个关键热电参数-红外吸收系数和电阻温度系数-采用红外透射谱、拉曼谱和电阻率测量进行了深入的研究。实验结果表明,对样品进行退火30 min后,薄膜结构可以达到稳定;随着退火温度的增加...
关键词：非晶硅 退火 红外 电阻温度系数 
退火对PECVD制备的掺磷硅薄膜及其电阻温度系数影响的研究被引量：4
《人工晶体学报》2007年第2期448-452,459,共6页马铁英 李铁 刘文平 王跃林 
本文对采用PECVD技术制备的不同掺杂比掺磷硅薄膜在不同退火时间和温度下的结构和电阻温度系数进行了研究。拉曼散射光谱结果表明:未退火样品主要为非晶/微晶混合相;当退火温度从500℃上升到700℃,薄膜结构呈现出先向非晶相转变,后完全...
关键词：退火 拉曼散射 电阻温度系数 
基于MEMS工艺制作的硅纳米线及其电学性质被引量：1
《Journal of Semiconductors》2006年第9期1645-1649,共5页刘文平 李铁 杨恒 焦继伟 李昕欣 王跃林 
国家重点基础研究发展规划资助项目(批准号:2006CB300403)~~
通过运用Si3N4和SiO2作掩膜,采用各向同性和各向异性腐蚀液,利用硅的腐蚀自停止特性,实现了硅梁的纳米宽度控制,同时利用多次氧化在SOI材料上实现了纳米厚度控制,最终成功批量制作了硅纳米线.扫描电镜观测表明,制备的纳米线厚度和宽度...
关键词：硅纳米线 MEMS技术 表面吸附 
不同原子频标的物理工作原理对比被引量：4
《微计算机信息》2006年第02S期170-172,158,共4页刘玉菲 高翔 吴亚明 刘文平 
国家863计划(编号:2002AA312260);中国科学院方向性项目的资助
本文主要介绍了氢钟、铷钟、铯钟等几种主要原子频标的物理工作原理、性能、工作与应用领域与研究进展;并将介绍了基于CPT(coherentpopulationtrapping)现象研制的芯片级原子钟;最后简述了原子钟的主要应用需求与发展趋势。
关键词：原子频标 原子钟 微波共振 光学抽运 CPT 
应用BCB材料进行硅-玻璃气密性封装的实验与理论研究被引量：1
《Journal of Semiconductors》2006年第z1期407-410,共4页刘玉菲 刘文平 李四华 吴亚明 罗乐 
应用苯并环丁烯(BCB)材料对硅片和玻璃片进行了250℃下的圆片级低温键合实验,同时进行了300℃下的硅片与玻璃片阳极键合实验,并对其气密性和剪切力特性进行了对比研究.测试结果表明:在250℃的低温键合条件下,经过500kPa He气保压2h,BCB...
关键词：低温键合 气密性封装 苯并环丁烯 渗流模型 
集成硅纳米线制造技术及其电学性质研究被引量：1
《中国机械工程》2005年第z1期365-367,共3页刘文平 宋达 李铁 李昕欣 王跃林 
采用传统MEMS工艺,利用精巧的结构设计和准确的工艺控制,制作出一种新型的、在芯片上可集成的、直径可控的硅纳米线,对其形貌和电学特性进行了初步测试和讨论.纳米线的直径达到50nm以下,长度为3～15μm,两端固支,底部悬空.电学测试结果...
关键词：硅纳米线 微电子机械系统 表面态 光生载流子 
硅纳米线的制作方法
《科技开发动态》2004年第5期39-40,共2页王跃林 李欣昕 刘文平 
关键词：硅纳米线 制作 掺杂 厚度 
转动竖直镜面的微机械光开关
《科技通讯（上海）》2004年第1期54-58,共5页杨艺榕 刘文平 王跃林 吴亚明 
国家重点基础研究发展规划项目(973)"集成微光机电系统研究"(No.G1999033104)
提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧。芯片经初步封装后进行了电学测试...
关键词：各向异性腐蚀 深反应离子刻蚀 MEMS 光开关 微机械 静电耦合分析 有限元 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部