焦继伟

作品数：45被引量：93H指数：5
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：微机械陀螺制作方法MEMS微机电系统真空封装更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
发文期刊：《固体电子学研究与进展》《仪表技术与传感器》《Journal of Semiconductors》《传感器与微系统》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划浙江省自然科学基金更多>>
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圆片级封装铝锗键合后残余应力的测量和分析
《传感器与微系统》2016年第10期40-42,共3页秦嵩 焦继伟 王敏昌 钱清 
以圆片级铝锗键合后的残余应力为研究对象,在键合环下方和周围制作了一系列形状相同的力敏电阻条,通过比较键合前后力敏电阻条的阻值变化,分析电阻条处残余应力的大小及与工艺相关性。结果表明:键合环内外的压阻变化约为键合环下方压阻...
关键词：铝锗共晶键合 残余应力 力敏电阻 
基于双通道解调相位校准技术的MEMS陀螺仪接口电路芯片被引量：2
《中国惯性技术学报》2015年第6期805-811,共7页吴焕铭 尹韬 杨海钢 焦继伟 俞建成 
国家自然科学基金(61474120);浙江省自然科学基金(LQ16F010001);宁波市自然科学基金(2015A610113);浙江省教育厅一般科研项目(Y201533258)
MEMS陀螺仪传感器件的机械正交误差信号会造成陀螺仪灵敏度、偏置稳定性等系统关键性能下降,甚至使陀螺仪工作失效。同步解调可以有效消除机械正交误差信号,但需要精准控制校准相位。设计了一款基于双通道解调相位校准技术的陀螺仪接口...
关键词：MEMS陀螺仪 相位校准 机械正交误差消除 接口电路 
FIB刻蚀对电化学制备多孔硅的影响
《上海大学学报（自然科学版）》2014年第3期355-361,共7页王婧洁 徐甲强 焦继伟 
国家自然科学基金资助项目(60876079)
通过聚焦离子束(focused ion beam,FIB)轰击处理制备得到一种新的微纳级多孔硅结构,并通过实验实现可控化.在图形化过程中,FIB轰击处的周围区域内多孔硅的电化学腐蚀被抑制,出现了抑制区,称为屏蔽区域.屏蔽区域的形成主要是由FIB轰击过...
关键词：多孔硅 聚焦离子束 屏蔽区域 二次碰撞效应 
硅基电磁式MEMS微扬声器结构设计和制作被引量：1
《磁性材料及器件》2014年第2期23-27,共5页刘文俊 王敏昌 秦嵩 颜培力 宓斌伟 张颖 张铁军 焦继伟 
设计制作了一种高音质电磁微机电系统(MEMS)扬声器,该结构由悬臂梁支撑的硅基薄膜、固定在硅基薄膜上的钐钴磁体以及制作在PCB板上的铜线圈组成。扬声器微结构利用体微加工工艺制作,微梁支撑的硅基薄膜刚度较大,在音频范围内只有三个振...
关键词：微扬声器 硅基薄膜 结构 设计 
有机溶剂在P型宏多孔硅电化学腐蚀中的应用研究被引量：1
《传感器与微系统》2011年第11期69-71,共3页陈平 焦继伟 葛道晗 王跃林 
国家自然科学基金资助项目(60876079;60772030)
近年来,多孔硅以其良好的光学、热学、电学以及机械特性使其在微传感器技术领域得到广泛的应用,电化学腐蚀多孔硅的各种方法与原理引起越来越多的关注。研究了P型硅的电化学腐蚀过程中,在腐蚀溶液中使用有机溶剂对多孔硅的制备、速率、...
关键词：多孔硅 微机电系统 有机溶剂 快速腐蚀 
新型MEMS质量传感器的研究被引量：1
《仪表技术与传感器》2011年第8期1-3,16,共4页熊磊 焦继伟 葛道晗 宓斌伟 张轩雄 
研究了一种新型MEMS质量传感器的设计、仿真与制造。这种用于流体中微小分子质量检测的MEMS器件,具有高度对称的中空圆盘结构,以谐振的方式工作于简并/解并模态,能在测量时实现对环境波动的自我补偿。器件的中空腔内可以流过被测流体,...
关键词：MEMS 谐振器 质量传感器 自补偿 
基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究被引量：1
《测试技术学报》2010年第5期377-380,共4页高安然 李铁 刘翔 焦继伟 王跃林 
国家重点基础研究发展计划(973)资助项目(2006CB300403);国家高技术研究发展计划(863)资助项目(2007AA03Z308);国家自然基金委创新团队资助项目(60721004)
设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片,以实现对微液滴传输的精确控制.介绍了驱动原理和工艺流程,分析了仿真和实验结果.该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴,采用玻璃作为衬底,Ti为电阻加热器,Au为电...
关键词：微液滴 温度梯度 表面张力梯度 电阻加热器 开放式结构 
电化学腐蚀中多孔硅边缘效应的研究
《传感器与微系统》2010年第10期49-51,共3页张圣 焦继伟 葛道晗 顾佳晔 严培力 张颖 
国家自然科学基金资助项目(6086079;60772030)
多孔硅在微电子机械系统(MEMS)、生物等领域得到了广泛的研究,边缘效应是其进入应用的难题之一,边缘效应的存在会导致多孔硅薄膜机械强度的降低,进而影响整个多孔硅薄膜的一致性。在n型和p型2种硅晶片上,研究了电化学腐蚀中常见的多孔...
关键词：边缘效应 电化学腐蚀 机械应力 SU8光刻胶 
微机械陀螺DRIE刻蚀过程中的局域掩膜效应被引量：2
《传感技术学报》2010年第8期1070-1074,共5页冷悦 焦继伟 张颖 顾佳烨 颜培力 宓斌玮 
国家自然科学基金项目资助(60772030;60876079)
在微机电系统(MEMS)制造中,深反应离子刻蚀(DRIE)过程的精度是影响器件特性的重要因素之一。本文设计了一种完全对称弹性梁结构的模态匹配式陀螺的原型器件,以此为对象研究了局域掩膜图形对于DRIE刻蚀过程的影响。器件的测试结果表明驱...
关键词：MEMS陀螺 深反应离子刻蚀 非对称结构 局域掩膜效应 模态失配 
一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片被引量：7
《电子与信息学报》2010年第1期203-209,共7页尹韬 杨海钢 张翀 吴其松 焦继伟 宓斌玮 
国家863计划项目(2007AA04Z349)资助课题
读出电路位于微传感器系统信号通路的最前端,是决定系统性能的关键因素。本文针对音叉式体硅微陀螺的具体应用,提出了一种低噪声电容读出电路,芯片采用斩波技术降低了电路的低频1/f噪声、失调电压以及参考电压失配的影响,提高了读出电...
关键词：微陀螺 读出电路 低噪声 斩波 
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