秦嵩

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：MEMS硅基薄膜硅基电磁式残余应力更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》《磁性材料及器件》更多>>
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圆片级封装铝锗键合后残余应力的测量和分析
《传感器与微系统》2016年第10期40-42,共3页秦嵩 焦继伟 王敏昌 钱清 
以圆片级铝锗键合后的残余应力为研究对象,在键合环下方和周围制作了一系列形状相同的力敏电阻条,通过比较键合前后力敏电阻条的阻值变化,分析电阻条处残余应力的大小及与工艺相关性。结果表明:键合环内外的压阻变化约为键合环下方压阻...
关键词：铝锗共晶键合 残余应力 力敏电阻 
硅基电磁式MEMS微扬声器结构设计和制作被引量：1
《磁性材料及器件》2014年第2期23-27,共5页刘文俊 王敏昌 秦嵩 颜培力 宓斌伟 张颖 张铁军 焦继伟 
设计制作了一种高音质电磁微机电系统(MEMS)扬声器,该结构由悬臂梁支撑的硅基薄膜、固定在硅基薄膜上的钐钴磁体以及制作在PCB板上的铜线圈组成。扬声器微结构利用体微加工工艺制作,微梁支撑的硅基薄膜刚度较大,在音频范围内只有三个振...
关键词：微扬声器 硅基薄膜 结构 设计 
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