杨艺榕

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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：各向异性腐蚀镜面微机械光开关微机械干法刻蚀更多>>
发文领域：电子电信电气工程更多>>
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转动竖直镜面的微机械光开关
《科技通讯（上海）》2004年第1期54-58,共5页杨艺榕 刘文平 王跃林 吴亚明 
国家重点基础研究发展规划项目(973)"集成微光机电系统研究"(No.G1999033104)
提出并制作了转动竖直微镜的微机械光开关,采用曲线形状的电极设计,有效地减低了悬臂梁驱动器的吸合电压,采用体硅深刻蚀技术结合(110)硅的各向异性腐蚀技术制备了光开关芯片和耦合对准的U形槽和卡簧。芯片经初步封装后进行了电学测试...
关键词：各向异性腐蚀 深反应离子刻蚀 MEMS 光开关 微机械 静电耦合分析 有限元 
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