一种用于低温下瞬态测温的薄膜热偶技术  

作　　者：徐文[1] 顾安忠[1] 张江[2] 俞国新[2] 

机构地区：[1]上海交通大学低温研究和测试中心,上海200030 [2]上海机械学院低温生物工程研究室,上海200093

出　　处：《低温与特气》1993年第1期36-39,共4页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：薄膜热电偶是采用高真空下离子溅射法制成的。从理论上对它的响应时间常数及动态测温误差进行了分析,并附有初步实验结果。从理论分析和实验结果看来,薄膜热电偶在低温下的响应要快于一般结点型热电偶。

关 键 词：薄膜热电偶 测温 热电偶 低温 

分 类 号：TH811[机械工程—仪器科学与技术]