砷烷/磷烷监测报警仪的研制  

作　　者：许峰岩 

机构地区：[1]化工部光明化工研究所,大连116031

出　　处：《低温与特气》1993年第2期65-69,78,共6页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：基于火焰光度法原理工作的砷烷/磷烷监测报警仪可对半导体及电子工业生产中使用的砷烷/磷烷进行TLV级的监测报警,对砷烷的最小检测浓度为0.004×10^(-6),对磷烷的最小检测浓度为0.003×10^(-6),响应时间不大于30s。该仪器不仅检测灵敏度高,响应速度快,抗干扰能力强,而且性能稳定,可连续自动监测,操作简便,能满足现场监测要求。

关 键 词：报警仪 砷烷 磷烷 半导体 气体 

分 类 号：TN104.7[电子电信—物理电子学]