磷烷

作品数：44被引量：44H指数：4
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基于气相色谱-质谱联用的乙烯和丙烯中痕量砷烷和磷烷的测定方法
《合成橡胶工业》2025年第1期29-33,共5页霍达 陈菲 来锦波 史得军 王春燕 曹青 
国家重点研发计划项目(2022YFF0609700-2022YFF0609703)。
基于气相色谱-质谱联用开发了一种同时测定乙烯和丙烯中痕量砷烷和磷烷含量的测定方法,考察了此方法的检出限、线性范围、回收率和重复性。结果表明,此方法对砷烷的检出限可低至0.682μL/m3,在4.955~99.100μL/m3体积浓度范围内峰面积...
关键词：乙烯 丙烯 痕量 砷烷 磷烷 气相色谱-质谱联用 检出限 
磷烷混合气的回收工艺
《低温与特气》2024年第6期17-21,共5页张观海 
介绍了磷烷混合气包装物在达到定检周期时,通过不同的工艺回收磷烷混合气包装物内的磷烷或是磷烷混合气,分析了不同的回收工艺,对生产磷烷混合气的厂家具有一定的参考价值和指导意义。
关键词：磷烷混合气 回收 检验 饱和蒸气压 
乙烯和丙烯中痕量砷烷和磷烷的测定
《合成橡胶工业》2024年第2期126-130,共5页霍达 史得军 陈菲 王春燕 马晨菲 郑方 
通过联用气相色谱-原子发射光谱检测器开发了一种同时分析乙烯、丙烯产品中痕量砷烷和磷烷的方法,优化了色谱分析条件,考察了该方法的检测限、线性范围、加标回收率和重复性。结果表明,本方法对砷烷的检测限低至0.02 mL/m^(3),在砷烷的...
关键词：乙烯 丙烯 砷烷 磷烷 痕量 气相色谱 原子发射光谱检测器 
气相色谱法同步测定原料丙烯中砷烷、磷烷及MAP
《云南化工》2023年第S01期22-26,共5页陈举 代刚 安玉林 杨亚乔 
应用气相色谱法(氦离子化检测器)同步测定丙烯中砷烷、磷烷及MAP(不饱和轻烃)组分。探讨了色谱柱筛选、阀柱系统设计、柱箱温度、载气流速等仪器参数条件设置,用标准气体进行方法验证,各组分检出限≤0.1 ppmV,相对误差在-2.0%~2.0%之间...
关键词：氦离子化检测器 丙烯 砷烷 磷烷 MAP 
一种砷烷磷烷特气吸附剂及其制备方法
《低温与特气》2022年第5期18-18,共1页
申请(专利)号:CN202210584093.1公开(公告)日:2022-08-09申请(专权)人:常州诚鉺正环保技术有限公司摘要:本申请涉及废气吸附剂技术领域,具体公开了一种砷烷磷烷特气吸附剂及其制备方法,其包括组分A和组分B,所述组分A与组分B的体积比为1...
关键词：活性氧化铝 二氧化硅 铝溶胶 环保技术 制备方法 吸附剂 磷烷 砷烷 
GC-AED在高纯磷烷特种气体杂质分析检测领域的研究应用
《低温与特气》2022年第3期38-41,共4页朱颜 乔洋 陈化冰 黄呈熙 
对GC-AED光谱分析检测技术在高纯特气分析检测领域做了应用研究,首次在国内实现高纯磷烷中锗烷杂质的分析检测,锗烷检出限低于0.5×10^(-9),为高迁移率电子器件及探测器外延应用提供有效指导。
关键词：GC-AED(色谱-原子发射光谱检测器) 磷烷 锗烷 砷烷 
氢载气气质联用测定聚合级丙烯中微量磷烷和砷烷被引量：3
《石油化工》2022年第4期427-431,共5页陈松 Chris Harvey 耿珂 王小伟 姜健准 
中国石油化工股份有限公司资助项目(CHG21009)。
以氢气为载气,采用闪蒸气化进样系统和动态气体稀释定量系统,建立了聚合级丙烯原料中微量磷烷、砷烷的气质联用分析方法。实验结果表明,当磷烷、砷烷含量在0.005~0.995 mL/m^(3)时,外标校正曲线相关系数为0.999,加标回收率在95.8%~103.8...
关键词：氢气 丙烯 气质联用 磷烷 砷烷 
氢、氦载气气质联用测定丙烯中磷烷、砷烷被引量：2
《石化技术》2022年第1期33-35,共3页陈松 Chris Harvey 耿珂 王小伟 姜健准 
采用氢气、氦气做载气,建立聚合级丙烯原料中微量磷烷、砷烷的气质联用(GC-MS)分析方法。对比两种载气GC-MS方法在测定1mL/m3以下磷烷、砷烷时,外标曲线相关系数、加标回收率、相对标准偏差、最低检出限的不同。经实际样品检验,不同载气...
关键词：氢气 氦气 丙烯 气质联用 磷烷 砷烷 
PECVD制程中磷烷轻掺杂N+A-SI成膜稳定性的研究
《真空科学与技术学报》2021年第2期201-207,共7页聂坤坤 段大伟 李明阳 赵晓翔 王玉亮 李道杰 李从江 
为解决G8.5世代线PECVD制程中磷烷轻掺杂N+A-SI成膜中频繁出现反射功率超过3000 W导致的沉积中断,研究了磷烷流量、RF Generator的匹配特性及RFoffset的电极间距对磷烷轻掺杂N+A-SI成膜中最大反射功率的影响,实验结果表明,在电极间距为2...
关键词：磷烷轻掺杂N+A-SI 反射功率 射频系统匹配 RFoffset 
工业乙烯、丙烯中痕量砷烷、磷烷的测定被引量：5
《化工技术与开发》2020年第10期57-59,共3页吕正忠 董永花 梁晟 
采用气相色谱-质谱联用仪,用同一浓度的标准物质、不同的进样量,外标法测定了工业乙烯、丙烯中的痕量砷烷、磷烷。砷烷、磷烷的测定下限均为20μL·m^-3,砷烷浓度在100~500μL·m^-3时,相对标准偏差最大为1.88%,加标回收率最大为104.6%...
关键词：砷烷 磷烷 气相色谱-质谱法 
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