准分子激光线宽压缩方法的研究  

Research on Spectral-Narrowing of Excimer Lasers

作　　者：李红霞[1] 楼祺洪[1] 董景星[1] 叶震寰[1] 魏运荣[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800

出　　处：《光学与光电技术》2004年第4期44-47,共4页Optics & Optoelectronic Technology

基　　金：上海市科技发展基金(021111000)支持;国家863ICF支持

摘　　要：介绍了准分子激光线宽压缩的各种方法及其各自特点,并用单个标准具对308nmXeCl准分子激光进行了线宽压缩实验。Various techniques and their characteristics for use in spectral narrowing of excimer lasers are described, and a line-narrowing experiment using XeCl excimer laser with 308nm wavelength is made by means of a single etalon.

关 键 词：准分子激光 标准具 光栅 自由光谱区 色散 

分 类 号：TN248.1[电子电信—物理电子学]