李红霞

作品数:10被引量:39H指数:5
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供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题:准分子激光光束均匀激光光束光束均匀性光强更多>>
发文领域:电子电信更多>>
发文期刊:《中国激光》《激光技术》《强激光与粒子束》《光学与光电技术》更多>>
所获基金:上海市科学技术发展基金国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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1064nm激光诱导等离子体开关控制355nm脉宽可调输出
《激光技术》2010年第1期17-19,40,共4页张芳沛 楼祺洪 李红霞 韩文杰 邢宇华 董景星 沈严 薛海中 
为得到脉宽可控的355nm紫外脉冲激光输出,采用1064nm脉冲激光诱导等离子体开关技术,控制355nm激光脉冲宽度,在激光电离Cu小孔内壁表面及空气击穿共同作用下,获得了2.8ns~10ns的脉宽可调输出。讨论了1064nm单脉冲输出能量对脉宽压缩的影...
关键词:激光技术 脉宽可调 等离子体开关 脉冲压缩 
准分子激光等离子体开关控制脉宽研究被引量:6
《强激光与粒子束》2006年第7期1090-1094,共5页李红霞 楼祺洪 董景星 魏运荣 
国家自然科学重点基金资助课题(10334110);国家863计划项目资助课题
利用准分子激光等离子体技术,在紫外预电离XeCl准分子激光器上获得了最短1.58 ns的短脉冲激光输出。实验中分析了聚焦到薄膜表面的光束能量密度对所产生的等离子体密度的影响,并对不同等离子体密度及维持时间情况下脉冲压缩效果进行了讨...
关键词:准分子激光 等离子体 脉冲压缩 谐振腔 
激光诱导等离子体开关控制脉宽实验研究被引量:3
《强激光与粒子束》2006年第6期899-902,共4页李红霞 楼祺洪 董景星 李立波 魏运荣 
国家自然科学基金重点资助课题(10334110)
利用激光诱导等离子体开关技术,在1064nm的Nd:YAG固体激光器上获得了脉宽4.4~6.4ns的短脉冲激光输出。激光电离空气产生的等离子体开关控制脉冲宽度时,聚焦透镜焦距越短,压缩后的脉宽越窄,但激光能量损耗越大。压缩后的激光脉...
关键词:等离子体 激光放电 脉冲压缩 
准分子激光光束均匀技术被引量:13
《激光技术》2005年第2期207-209,212,共4页叶震寰 楼祺洪 李红霞 董景星 魏运荣 
上海市科技发展基金资助项目(021111000)
由于放电结构及谐振腔的限制,准分子激光光斑呈现不均的分布。介绍了各种均匀器的工作原理,从衡量光束均匀性的各项指标出发,评述分析了各种均匀方法的优缺点及适用范围。
关键词:准分子激光 光束均匀 蝇眼 光刻 
简化蝇眼式光束均匀器
《科技开发动态》2004年第10期41-42,共2页叶震寰 楼祺洪 董景星 魏运荣 李红霞 
关键词:蝇眼式光束均匀器 准分子激光 透镜阵列 柱面镜 
梯形棱镜式激光光束均匀器
《科技开发动态》2004年第11期40-40,共1页楼祺洪 李红霞 叶震寰 魏运荣 董景星 
该专利是一种梯形棱镜式激光光束均匀器。
关键词:激光光束 棱镜 梯形 
准分子激光线宽压缩方法的研究被引量:5
《光学与光电技术》2004年第4期44-47,共4页李红霞 楼祺洪 董景星 叶震寰 魏运荣 
上海市科技发展基金(021111000)支持;国家863ICF支持
介绍了准分子激光线宽压缩的各种方法及其各自特点,并用单个标准具对308nmXeCl准分子激光进行了线宽压缩实验。
关键词:准分子激光 标准具 光栅 自由光谱区 色散 
一种改善准分子激光光束均匀性的新型均匀器被引量:10
《中国激光》2004年第7期785-788,共4页李红霞 楼祺洪 董景星 叶震寰 魏运荣 凌磊 
上海市科技发展基金 (0 2 11110 0 0 );国家 86 3ICF基金 (86 3 80 4 6 2 )资助项目
准分子激光作为当前光刻装置的主要光源 ,要求其输出激光光束强度分布尽量均匀。为了改善其光束强度分布的均匀性 ,介绍了一种新型梯形棱镜式准分子激光光束均匀器。从理论上分析了其工作原理及设计加工要求 ,计算了最佳均匀截面位置 ,...
关键词:激光技术 准分子激光 光束均匀器 梯形棱镜 平顶因子 
准分子激光光束均匀性的评价指标研究被引量:8
《强激光与粒子束》2004年第6期729-732,共4页李红霞 楼祺洪 叶震寰 董景星 魏运荣 凌磊 
上海市科技发展基金资助课题 (0 2 1 1 1 1 0 0 0 ) ;国家 863计划项目资助课题
详细研究了准分子激光光束均匀性的各项评价指标 ,加工窗口描述了加工任务本身对光束均匀度的要求 ;能量分数回答了具体加工窗口即均匀度要求下的能量利用率问题 ;平顶因子则描述了整个光斑能量分布范围内的均匀性问题。利用激光波面分...
关键词:准分子激光 光束均匀性 加工窗口 平顶因子 
准分子激光的光束波面测量技术被引量:5
《强激光与粒子束》2004年第5期619-622,共4页叶震寰 董景星 魏运荣 李红霞 楼祺洪 
上海市科技发展基金资助课题(021111000)
 准分子激光在激光光刻和微细加工中有广泛的应用,要求激光具有好的稳定性和光束波面均匀性。介绍了准分子激光的波面特性以及波面分析测量技术。用波面分析仪对XeCl和ArF激光特性进行全面的测量和评估,给出了主要参数的测量结果,重点...
关键词:准分子激光 光束测量 波面分析技术 
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