光束均匀

作品数:23被引量:74H指数:6
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相关作者:董景星魏运荣叶震寰楼祺洪李红霞更多>>
相关机构:中国科学院上海光学精密机械研究所日立制作所中国原子能科学研究院国防科学技术大学更多>>
相关期刊:《科技通报》《中国原子能科学研究院年报》《中国光学(中英文)》《光学学报》更多>>
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大口径多波段光束质量检测系统设计
《中国光学(中英文)》2024年第4期932-942,共11页刘才 于信 潘国涛 贺国强 倪小龙 白素平 
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.62205032);吉林省科技发展计划项目(No.20210201139GX);长春理工大学青年基金(No.XQNJJ-2019-01)。
光谱合成技术是实现高能激光输出的重要技术途径,如何在高功率输出的前提下,保证高光束质量的激光输出已成为当前光谱合成技术最迫切要解决的问题。本文针对155 mm×140 mm矩形口径、(1 064±3)nm、(1 030±3)nm和(635±5)nm波段光束的...
关键词:多波段多参数检测 无热化设计 波前测量 光束均匀性 光束质量 
COB光源的窄光束均匀照明设计被引量:3
《强激光与粒子束》2021年第2期145-151,共7页黄从高 胡淼 张春洋 许蒙蒙 李齐良 毕美华 周雪芳 
国家自然科学基金项目(61705055);浙江省重点研发计划项目(2019C01G1121168)。
为了解决高功率白光LED光源输出高均匀度窄光束的问题,设计了一种由复合抛物面反射器、菲涅尔透镜和非球面透镜组成的照明系统。设计中以板上芯片型(COB)集成光源的配光曲线为依据构建光源仿真模型,由复合抛物面反射器实现大角度光线初...
关键词:窄光束 COB集成光源 均匀照明 非球面透镜 复合抛物面反射器 
激光毛化床光束均匀穿插调整的研究
《北方钒钛》2020年第3期31-33,共3页陈猛 白海涛 张远昊 
阐述了冷轧激光毛化螺距对毛化辊表面的影响、焦距与螺距的关系,以及激光毛化床光束均匀穿插调整的方法。
关键词:激光毛化 螺距 离焦量 均匀穿插调整 
大气激光通信的双向光束均匀传输被引量:2
《科技通报》2017年第12期125-128,共4页林宏 周传璘 何武光 吴生林 
国家自然科学基金项目(41201362);湖北省自然科学基金项目(2014CFB572)
激光光束在大气介质中传播易受到大气湍流的影响和干扰,数据传输局部不均匀、系统效率降低。提出基于惠更斯理论和LMS自适应算法的双向光束均匀传输算法研究,通过分析影响光束均匀传输的各项因素及其最佳指标组合,构建了一种高速光波信...
关键词:大气激光通信 双向光束 均匀传输 惠更斯理论 LMS自适应算法 
用于低温多晶硅制备的线光束整形系统被引量:3
《中国激光》2017年第9期179-189,共11页尹广玥 游利兵 王庆胜 褚状状 陈亮 方晓东 
安徽省国际合作项目(1403062009)
设计了一套用于准分子激光低温多晶硅制备的线光束整形系统。系统中设置的光斑转换模块可使原始光束截面横纵倒置;利用扩束模块对原始光束的短轴进行准直,其扩束倍率可限定短轴光束尺寸,以配合短轴光束均匀模块的孔径;采用基于透镜阵列...
关键词:激光技术 线光束整形 光束均匀性 准分子激光退火 低温多晶硅制备 
利用含二面角误差的角锥棱镜阵列实现反射光束均匀发散的方法被引量:6
《物理学报》2017年第8期77-86,共10页周晓凤 戚祖敏 罗向前 刘长安 朱建辉 王泽华 张轶 訾彦勇 
角锥棱镜常应用于光电跟踪、卫星通信、干涉仪等领域.在一些特殊应用场合中,要求经角锥棱镜反射的光束具有一定的发散角,以实现对距离激光器较远位置处探测器的覆盖.由于标准角锥棱镜不具备对光束发散的功能,本文利用含二面角误差的角...
关键词:角锥棱镜 阵列 发散半角 光电跟踪 
KrF激光放大和传输过程的光束均匀性模拟研究
《中国原子能科学研究院年报》2015年第1期162-163,共2页张晓华 王晓洁 张骥 
国家863计划资助项目
在过去几年的工作中,在国内外已有研究工作的基础上结合本实验室工作,针对天光一号MOPA系统,考虑了24种粒子、120种反应通道,建立了最基本的零维、一维数值模拟程序,对电子束泵浦的KrF准分子激光器的反应动力学过程进行了研究;通过该模...
关键词:激光放大 增益区 电子束泵浦 KRF 准分子激光器 反应通道 反应动力学 光束传输 数值模拟程序 输出脉冲 
光扩散膜在LED照明产业中的应用被引量:6
《应用激光》2012年第3期231-237,共7页张瑄珺 华春帆 沈可余 姜兆华 张伟 吴鸯 于航 
上海市科学技术委员会资助项目(项目编号:1052nm01500)
LED因其节能、环保、寿命长等特点,已渐渐被广泛应用于照明产业。为了兼顾LED照明的光效率与光束整形均匀化问题,人们开发了光扩散膜技术。本文概述了LED照明产业国内外市场最新的发展动态,光扩散膜的原理与制作工艺,着重研究了光扩散...
关键词:LED照明 光扩散膜 光束均匀性 
适用于放大自发辐射平滑光束的脉宽压缩方法被引量:2
《强激光与粒子束》2012年第6期1381-1384,共4页向益淮 汤秀章 S.Szatmari B.Janos 
中国与匈牙利政府间合作项目(CHN-33/2006);国家高技术发展计划项目
为了增加靶上的功率密度和耦合效率,基于饱和增益开关原理,发展了一种适用于放大自发辐射平滑光束的脉宽压缩方法。利用该方法,在赛格德大学的一台放电泵浦KrF准分子激光器上进行了实验,将该激光器输出的脉宽为14.5ns的放大自发辐射光...
关键词:KRF准分子激光 放大自发辐射 脉宽压缩 光束均匀性 
提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法被引量:7
《光学学报》2012年第8期153-159,共7页赵阳 巩岩 
国家自然科学基金(40974110)资助课题
在曝光线宽为90nm节点的投影光刻机照明系统中,针对准分子激光光源扩束后出射光束均匀性较差的问题,用高斯光束边缘叠加能够提高均匀性的原理对反射式扩束单元进行了分析。结果表明,平行反射式扩束单元出射光束之间叠加尺寸与反射板某...
关键词:几何光学 非平行反射扩束单元 子光束叠加 照明均匀性 
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