云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- KRF

KRF: 作品数：94被引量：48H指数：3; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：王钊汤秀章田宝贤单玉生王乃彦更多>>; 相关机构：中国原子能科学研究院上海新阳半导体材料股份有限公司哈尔滨工业大学北京应用物理与计算数学研究所更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划俄罗斯基础研究基金山东省自然科学基金更多>>

KrF深紫外光刻投影物镜光机热集成分析与优化: 《光学学报》2024年第7期139-149,共11页韩星江伦李延伟李骏驰; 吉林省重大科技专项课题(20230301002GX);涂胶显影工艺自动光学检测单元智能服务系统研发关键技术攻关(S220711VH220)。; 提出了一种融合新型支撑方式与灵敏度分析的光机热集成分析与优化方法,用于设计超高精度深紫外光刻投影物镜系统。首先,采用轴向多点与周向三点胶接支撑相结合的新型支撑方式,实现了212.51 mm口径光学元件的超高精度定位要求。其次,通...; 关键词：光学设计结构设计光机热集成分析 ZERNIKE多项式有限元分析

国产KrF Lift-off光刻胶在高性能滤波器芯片加工中的应用被引量：1: 《功能材料与器件学报》2021年第4期367-370,共4页曹明霞吴信; 集成电路是信息社会的基础设施,集成电路制造的核心工艺是光刻工艺,光刻胶的国产化是我国集成电路产发展的重要保障。本文介绍了HTKN601在声表面波滤波器件加工中的应用,利用该光刻胶剥离技术(Lift-off)在曝光和显影过程之后,显示出独...; 关键词：声表面波负性光刻胶剥离工艺

上海新阳自研 KrF(248nm)厚膜光刻胶产品取得第一笔订单: 《中国集成电路》2021年第8期58-58,共1页; 日前,上海新阳发布公告,宣布其自主研发的KrF(248nm)厚膜光刻胶产品已通过客户认证,并成功取得第一笔订单。上海新阳表示,KrF(248nm)厚膜光刻胶产品的开发和产业化是其第三大核心技术-- -光刻技术的重要方向之一,本次产品认证的通过及...; 关键词：光刻技术光刻胶厚膜新阳产品认证产业化核心技术订单

Review of nonlinear effects under TW-power PS pulses amplification in GARPUN-MTW Ti:sapphire-KrF laser facility: 《Matter and Radiation at Extremes》2020年第4期63-77,共15页V.D.Zvorykin A.V.Shutov N.N.Ustinovskii; supported by Russian Foundation for Basic research(RFBR)Project Nos.18-02-00730,18-32-00726,19-02-00875;the International Atomic Energy Agency(IAEA)Contract No.19273.; Investigations were carried out at the multistage hybrid Ti:sapphire–KrF laser facility GARPUN-MTW on the direct amplification of TW-power picosecondUVlaser pulses in e-beam-pumped KrF amplifiers and propagation alon...; 关键词：KRF laser POWER

Self-focusing of UV radiation in 1mmscale plasma in a deep ablative crater produced by 100ns,1 GW KrF laser pulse in the context of ICF: 《Matter and Radiation at Extremes》2020年第3期11-19,共9页V.D.Zvorykin I.G.Lebo A.V.Shutov N.N.Ustinovskii; This work was supported by the Russian Foundation for Basic Research(RFBR)Project No.19-02-00875;the International Atomic Energy Agency(IAEA)(Contract No.19273).; Experiments at the GARPUN KrF laser facility and 2D simulations using the NUTCY code were performed to study the irradiation of metal and polymethyl methacrylate(PMMA)targets by 100 nsUVpulses at intensities up to 5×...; 关键词：KRF PULSE transparent

KrF激光刻蚀制备300 nm自支撑聚酰亚胺膜: 《材料导报》2019年第S02期580-583,共4页刘仁臣陆静; 广东省普通高校重点科研平台和科研项目(2018KTSCX306);吉林大学珠海学院创新培育工程重点项目(2018XJCQSQ047);高等教育教学研究与改革项目(ZLGC20191004,2019JZDJ034)~~; 本工作探讨了微纳米量级聚酰亚胺(PI)自支撑薄膜的制备。以4,4′-二氨基二苯醚(ODA)和均苯四甲酸二酐(PMDA)为单体合成聚酰胺酸(PAA)溶液。经热亚胺化后脱膜得到厚度为900 nm的自支撑PI薄膜。亚胺化程度用傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)测...; 关键词：聚酰亚胺自支撑脱膜激光刻蚀

Analysis of the network buzzword"skr"from the perspective of sociolinguistics: 《新东方英语（中学版）》2019年第12期86-86,88,共2页向贵; With the rapid development of society,the development of the network is getting faster and faster.People use the net?work in daily life,work and study.With the progress of the times,there have been some popular online...; 关键词：network BUZZWORDS SOCIOLINGUISTICS SKR

KrF激光照射约束层靶驱动产生高速飞片研究被引量：1: 《航天器环境工程》2016年第3期300-304,共5页殷倩汤秀章李业军王钊田宝贤张品亮; 国家自然科学青年基金项目(编号:11505299); 微小空间碎片的超高速撞击对航天器性能有重要影响。为了研究撞击损伤机制,在"天光一号"装置上开展了Kr F准分子激光照射约束层靶产生高速飞片的实验研究,利用成像速度干涉仪(Imaging-VISAR)对飞片自由面速度进行诊断。采用1.9 J准分子...; 关键词：KRF准分子激光空间碎片模拟约束层靶高速飞片能量转化效率试验研究

KRF系列射频导纳物位计的开发与应用被引量：3: 《中国仪器仪表》2016年第4期47-51,共5页周亮杨华丽王晨高春辉杨洋; 承德市科学技术与发展计划(项目编号201422117); 鉴于传统电容式物位计存在的缺陷,开发KRF系列射频导纳物位计。本文阐述KRF系列射频导纳物位计的基本原理,给出测试系统的主要技术指标,并对其性能进行了测试。开发的KRF物位计有效地解决了传统物位测量过程中存在的挂料问题,能够精确...; 关键词：物位测量电容式物位计挂料 KRF 物位计

长脉冲KrF激光驱动高速飞片多次加速过程研究: 《中国原子能科学研究院年报》2015年第1期163-,共1页田宝贤王钊李业军殷倩; 高功率激光驱动高速飞片发射过程中,在飞片内部会诱发产生强冲击波。对于短脉冲激光,冲击压缩的动力学过程时间很短、过程简单,往往只有单次冲击。在长脉冲激光作用下,冲击加载的时间远大于单次冲击在飞片内部的传输时间,因此在飞片内...; 关键词：飞片 KRF 加速过程激光驱动冲击加载稀疏波短脉冲激光传输时间长脉冲激光发射过程

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