光束均匀性

作品数：15被引量：41H指数：4
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相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
相关作者：李红霞董景星魏运荣楼祺洪陆启生更多>>
相关机构：中国科学院上海光学精密机械研究所中国原子能科学研究院国防科学技术大学电子科技大学更多>>
相关期刊：《激光与光电子学进展》《强激光与粒子束》《中国原子能科学研究院年报》《中国光学（中英文）》更多>>
相关基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金上海市科学技术发展基金上海市科学技术委员会资助项目更多>>
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大口径多波段光束质量检测系统设计
《中国光学（中英文）》2024年第4期932-942,共11页刘才 于信 潘国涛 贺国强 倪小龙 白素平 
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.62205032);吉林省科技发展计划项目(No.20210201139GX);长春理工大学青年基金(No.XQNJJ-2019-01)。
光谱合成技术是实现高能激光输出的重要技术途径,如何在高功率输出的前提下,保证高光束质量的激光输出已成为当前光谱合成技术最迫切要解决的问题。本文针对155 mm×140 mm矩形口径、(1 064±3)nm、(1 030±3)nm和(635±5)nm波段光束的...
关键词：多波段多参数检测 无热化设计 波前测量 光束均匀性 光束质量 
用于低温多晶硅制备的线光束整形系统被引量：3
《中国激光》2017年第9期179-189,共11页尹广玥 游利兵 王庆胜 褚状状 陈亮 方晓东 
安徽省国际合作项目(1403062009)
设计了一套用于准分子激光低温多晶硅制备的线光束整形系统。系统中设置的光斑转换模块可使原始光束截面横纵倒置;利用扩束模块对原始光束的短轴进行准直,其扩束倍率可限定短轴光束尺寸,以配合短轴光束均匀模块的孔径;采用基于透镜阵列...
关键词：激光技术 线光束整形 光束均匀性 准分子激光退火 低温多晶硅制备 
KrF激光放大和传输过程的光束均匀性模拟研究
《中国原子能科学研究院年报》2015年第1期162-163,共2页张晓华 王晓洁 张骥 
国家863计划资助项目
在过去几年的工作中,在国内外已有研究工作的基础上结合本实验室工作,针对天光一号MOPA系统,考虑了24种粒子、120种反应通道,建立了最基本的零维、一维数值模拟程序,对电子束泵浦的KrF准分子激光器的反应动力学过程进行了研究;通过该模...
关键词：激光放大 增益区 电子束泵浦 KRF 准分子激光器 反应通道 反应动力学 光束传输 数值模拟程序 输出脉冲 
光扩散膜在LED照明产业中的应用被引量：6
《应用激光》2012年第3期231-237,共7页张瑄珺 华春帆 沈可余 姜兆华 张伟 吴鸯 于航 
上海市科学技术委员会资助项目(项目编号:1052nm01500)
LED因其节能、环保、寿命长等特点,已渐渐被广泛应用于照明产业。为了兼顾LED照明的光效率与光束整形均匀化问题,人们开发了光扩散膜技术。本文概述了LED照明产业国内外市场最新的发展动态,光扩散膜的原理与制作工艺,着重研究了光扩散...
关键词：LED照明 光扩散膜 光束均匀性 
适用于放大自发辐射平滑光束的脉宽压缩方法被引量：2
《强激光与粒子束》2012年第6期1381-1384,共4页向益淮 汤秀章 S.Szatmari B.Janos 
中国与匈牙利政府间合作项目(CHN-33/2006);国家高技术发展计划项目
为了增加靶上的功率密度和耦合效率,基于饱和增益开关原理,发展了一种适用于放大自发辐射平滑光束的脉宽压缩方法。利用该方法,在赛格德大学的一台放电泵浦KrF准分子激光器上进行了实验,将该激光器输出的脉宽为14.5ns的放大自发辐射光...
关键词：KRF准分子激光 放大自发辐射 脉宽压缩 光束均匀性 
提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法被引量：7
《光学学报》2012年第8期153-159,共7页赵阳 巩岩 
国家自然科学基金(40974110)资助课题
在曝光线宽为90nm节点的投影光刻机照明系统中,针对准分子激光光源扩束后出射光束均匀性较差的问题,用高斯光束边缘叠加能够提高均匀性的原理对反射式扩束单元进行了分析。结果表明,平行反射式扩束单元出射光束之间叠加尺寸与反射板某...
关键词：几何光学 非平行反射扩束单元 子光束叠加 照明均匀性 
激光光刻大面积扫描投影成像光学系统测试及评价被引量：1
《激光与光电子学进展》2012年第7期152-155,共4页梅龙华 周金运 雷亮 林清华 王新星 施颖 
国家自然科学基金(60977029;61107029);广东工业大学校重大项目培育专项(092010)资助课题
基于351nm XeF激光大面积投影成像光刻系统,通过对其光学系统包括光学照明系统和折叠投影系统进行光学性能测试。由激光经过柱面透镜、微透镜阵列均束器以及投影折叠物镜之后产生的能量及光束质量变化,将准分子激光光束均匀性评价指标...
关键词：成像系统 准分子激光 光刻 紫外激光投影成像 光束均匀性 平顶因子 
高功率KrF准分子激光光束均匀性研究
《中国原子能科学研究院年报》2009年第1期312-313,共2页田宝贤 汤秀章 向益淮 王钊 高爽 戴辉 
“天光一号”KrF准分子激光系统采用无阶梯诱导空间非相干（EFISI）光束平滑技术，对光束进行平滑处理，改善光束焦斑的均匀性，实现靶位焦斑的均匀辐照，为状态方程的测量提供良好的实验基础。
关键词：KRF准分子激光 光束均匀性 无阶梯诱导空间非相干 高功率 光束平滑技术 激光系统 平滑处理 均匀辐照 
基于二元光学设计的高能激光窗口的初步探讨被引量：3
《光学技术》2007年第S1期227-228,231,共3页杜少军 陆启生 舒柏宏 
对非均匀近场强度分布影响强激光远场聚焦效果的原因进行了分析。对高能激光窗口进行了二元光学设计。提高了光束强度分布的均匀性,改善了光束质量。介绍了二元光学设计的基本原理,采用随机并行扰动爬山法对窗口的位相分布、变换后的光...
关键词：二元光学 高能激光窗口 随机并行扰动爬山法 衍射效率 光束均匀性 光束质量 
“天光一号”装置精密化进展
《中国原子能科学研究院年报》2006年第1期169-169,共1页向益淮 陆泽 高智星 佟晓惠 胡凤鸣 王华 
“天光一号”装置精密化主要包括如下三方面内容：1）6束光学角多路系统的优化；2）加速器运行稳定性及关键技术研究：3）光束参数实时监测系统的建立。围绕这三方面主要完成了如下工作内容：对角多路系统中影响光束均匀性的局部光路进...
关键词：精密化 装置 光学角多路系统 实时监测系统 运行稳定性 光束均匀性 光束参数 输入输出 
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